- 179.24 KB
- 2022-04-22 13:41:11 发布
- 1、本文档共5页,可阅读全部内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 文档侵权举报电话:19940600175。
'669-782免费标准下载网(www.freebz.net)UHD8C1疡黔中华人民共和国国家标准Gs/T14139一93吞﹄t2卜硅.延片Siliconepitaxialwafers1993一02一06发布1993一10一01实施国家技术监督局发布免费标准下载网(www.freebz.net)无需注册,即可下载
免费标准下载网(www.freebz.net)中华人民共和国国家标准GB/T14139一93硅外延片Siliconepitaxialwafers主题内容与适用范围本标准规定了硅外延片的产品分类、技术要求、试验方一法和检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于在N型硅抛光片衬底上生长的N型外延层(N/N`,和在P型硅抛光片衬底上生长的P型外延层(P/PI)的同质硅外延片。产品用于制作半导体器件‘弓1用标准GB2828逐批检查计数抽样程序及抽样表(适用于连续批的检查)GB6624硅抛光片表面质量目测检验方法GB12962硅单晶GB12964硅单晶抛光片GB/T13389掺硼掺磷硅单晶电阻率和掺杂剂浓度换算规程GB/T14142硅外延层晶体完整性检测方法腐蚀法GB/T14145硅外延层堆垛层错密度测定干涉相衬显微镜法GB/T14146硅外延层载流子浓度测定汞探针电容一电压法GB/T14264半导体材料术语YS/T23硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法YS,"T24外延钉缺陷的检测方法YS/T28硅片包装产品分类3-,导电类刑产品按导电类型分为N型和P型.3-2规格产品按直径尺寸分为(50.8mm,76.2mm,80mm,90mm和100mm,3.3外延片晶向产品按晶向分为<111>,<100>等。3.4产品牌号产品牌号表示为:国家技术监.局1993一02一06批准1993一10一01实施免费标准下载网(www.freebz.net)无需注册,即可下载
免费标准下载网(www.freebz.net)GB/T14139一93MSi一XXEWOXX丁可直径尺寸晶向外延片导电类型、结构·硅单晶材料示例:MSi-N/N十一EW<111>价76.2表示N/N"结构<111>晶向直径为76.2mm的硅外延层。技术要求外延片衬底参数硅单晶衬底的电阻率应符合表1的规定,其他各项参数应符合GB12962的规定。表1硅单晶衬底的电阻率电阻率,n·cm导电类型掺杂元素硅单晶直径,mm不大于镇50.80.012Sb76.20.01580,90,1000.02N(50.80.009As76.20.0180,90,1000.015簇50.80.009PB76.20.0180,90,1000.0154.2衬底晶向硅单晶抛光片衬底的晶向、几何尺寸等参数应符合GB12964的规定。4.3外延层电阻率4.3.1N型外延层掺杂元素为磷,P型外延层掺杂元素为硼。4.3.2外延层中心电阻率及其允许偏差应符合表2的规定。表2外延层中心电阻率及其允许偏差中心电阻率,n·cm允许偏差,%0.5-3士18>3-10士20>10-20士25免费标准下载网(www.freebz.net)无需注册,即可下载
免费标准下载网(www.freebz.net)GB/T14139一93续表2中心电阻率,。·cm允许偏差,%>20-50士30>50-100士353.3外延层径向电阻率变化应符合表3的规定.表3外延层径向电阻率变化中心电阻率,I"cm径向电阻率变化RV,%J毛3(10>3簇15I玛一P,I表中RV(%)二X100⋯.”⋯’”.”’””。⋯(1)P,式中:IPz-P,}一平行和垂直于主参考面二条直径的r/2处(r为半径)四个电阻率测量值Pz中与P,值之差的最大值;P<—中心处的电阻率测量值.4-4外延层厚度4.4.1外延层厚度及其允许偏差应符合表4的规定。表4外延层厚度及其允许偏差中心厚度,f.m厚度允许偏差,%5^-50士104.4.2外延层径向厚度变化应符合表5的规定。表5外延层径向厚度变化中心厚度,dam径向厚度变化TV,%5-50(6ITi一T,I表中TV(%)二X100.·⋯“’..····⋯⋯(2)T,式中:ITS-T,}一平行和垂直于主参考面二条直径的r/2处(二为半径)四个厚度测量值几中与T,值之差的最大值;T,—中心处厚度测量值。4.5外延层缺陷4.5.1外延层位错密度不大于3000cm-=.免费标准下载网(www.freebz.net)无需注册,即可下载
免费标准下载网(www.freebz.net)GB/T14139一93‘︺外延层堆垛层错密度不大于50cm叹︺外延层表面缺陷限度户﹄曰缺陷限度应符合表6的规定。表6外延层表面缺陷限度17号缺陷名称外延片直径,mm缺陷限度}蕊76.25条总长提直径l滑移线80,90,10010条总长镇2倍直径外延层厚度,fLm(15>15-25>25点状缺陷个数成50.86,7,1076.210,12,1580,90,10020,22,25廷E0.83凹坑个数76.24口,80,90,100J}突起不得超过十外延层厚度l冠状边缘
您可能关注的文档
- GBT1410-2006固体绝缘材料体积电阻率和表面电阻率试验方法.pdf
- GBT14100-2009燃气轮机验收试验.pdf
- GBT14108-2011船用A级磁罗经.pdf
- GBT1411-1978固体电工绝缘材料高压小电流间歇耐电弧试验方法.pdf
- GBT14122-1993电子设备用固定电容器第3部分:空白详细规范片状钽固定电容器评定水平E.pdf
- GBT14123-2012机械冲击试验机性能特性.pdf
- GBT14124-2009机械振动与冲击建筑物的振动振动测量及其对建筑物影响的评价指南.pdf
- GBT14125-2008机械振动与冲击振动与冲击对建筑物内敏感设备影响的测量和评价.pdf
- GBT1413-2008系列1集装箱分类、尺寸和额定质量.pdf
- GBT14139-2009硅外延片.pdf
- GBT1414-2013普通螺纹管路系列.pdf
- GBT14140-2009硅片直径测量方法.pdf
- GBT14144-2009硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法.pdf
- GBT14146-2009硅外延层载流子浓度测定汞探针电容-电压法.pdf
- GBT14156-2009食品用香料分类与编码.pdf
- GBT14157-1993水文地质术语.pdf
- GBT14158-1993区域水文地质工程地质环境地质综合勘查规范(比例尺1,50000).pdf
- GBT1416-1993信封.pdf
相关文档
- 施工规范CECS140-2002给水排水工程埋地管芯缠丝预应力混凝土管和预应力钢筒混凝土管管道结构设计规程
- 施工规范CECS141-2002给水排水工程埋地钢管管道结构设计规程
- 施工规范CECS142-2002给水排水工程埋地铸铁管管道结构设计规程
- 施工规范CECS143-2002给水排水工程埋地预制混凝土圆形管管道结构设计规程
- 施工规范CECS145-2002给水排水工程埋地矩形管管道结构设计规程
- 施工规范CECS190-2005给水排水工程埋地玻璃纤维增强塑料夹砂管管道结构设计规程
- cecs 140:2002 给水排水工程埋地管芯缠丝预应力混凝土管和预应力钢筒混凝土管管道结构设计规程(含条文说明)
- cecs 141:2002 给水排水工程埋地钢管管道结构设计规程 条文说明
- cecs 140:2002 给水排水工程埋地管芯缠丝预应力混凝土管和预应力钢筒混凝土管管道结构设计规程 条文说明
- cecs 142:2002 给水排水工程埋地铸铁管管道结构设计规程 条文说明