GBT16595-1996晶片通用网格规范.pdf 6页

'ICs29.045免费标准下载网(www.freebz.net)H21(G黔中华人民共和国国家标准GB/T16595一1996晶片通用网格规范Specificationforauniversalwafergrid1996一11一04发布1997一04一01实施国家技术监督局发布免费标准下载网(www.freebz.net)无需注册即可下载 免费标准下载网(www.freebz.net)GB/T16595一1996前言本标准等效采用半导体设备和材料国际组织SEMIM17-90(晶片通用网格规范》，结合我国的实际情况制定的，用于定量描述圆形半导体晶片上非均匀分布的表面缺陷。本标准适用于定量GB/T12964,GB/T14139中晶片的表面缺陷。在引用标准中，SEMIM17中引用的凡已转化成我国标准的国外标准，都引用现行的我国标准。与本标准配套的规范有GB/T16596-1996《确定晶片坐标系规范》。本标准由中国有色金属工业总公司提出。本标准由中国有色金属工业总公司标准计量研究所归口。本标准由中国有色金属工业总公司标准计量研究所负责起草。本标准主要起草人:吴福立。本标准1996年11月首次发布。免费标准下载网(www.freebz.net)无需注册即可下载 免费标准下载网(www.freebz.net)中华人民共和国国家标准GB/T16595一1996晶片通用网格规范Specificationforauniversalwafergrid1范围1.1本标准规定了可用于定量描述公称圆形半导体晶片表面缺陷的网格图形。网格规定包含1000个面积近似相等的网格单元，每个网格单元相当于受检表面固定优质区总面积的。.1%。根据晶片表面上有缺陷的面积百分比(或有效的面积百分比)，可定量其非均匀分布的表面缺陷(例如，滑移)。1.2把透明的网格覆盖到晶片缺陷图形上或把被观测的晶片缺陷图形映到网格上，定量有缺陷的面积，计算含有缺陷的网格单元的数量。该单元数除以10相当于有缺陷面积的百分比。也可将该网格叠加在CRT显示器、照片或计算机绘制的图上。使用时，网格的直径必须与所覆盖的晶片图形或图像尺寸成比例。1.3网格以晶片中心来定位。根据GB/T12964或SEMIM1规定的晶片公称直径，使用“固定优质区”的概念。1.4外延层上滑移和其他非均匀分布的缺陷，最大允许值已在GB/T14139,SEMIM2和SEMIM11中规定，按照GB/T6624,GB/T14142和YS/T209进行观测。2弓{用标准下列标准所包含的条文，通过在本规范中引用而构成为本规范的条文。本规范出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本规范的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性.2.1我国标准GB/T1554-1995硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法GB/T6624-1995硅抛光片表面质量目测检验方法GB/T12964-1991硅单晶抛光片GB/T14139-93硅单晶外延片GB/T14142-93硅外延层晶体完整性检验方法腐蚀法GB/T14264-93半导体材料术语YS/T209-94硅材料原生缺陷图谱2.2SEMI标准SEMIM1-94硅单晶抛光片规范SEMIM2-94硅单晶外延片规范SEMIMll-94先进电路用硅单晶外延片规范定义本标准中使用的定义分别由GB/T14264和SEMIM1提供。国家技术监督局1996一11一04批准1997一04一01实施免费标准下载网(www.freebz.net)无需注册即可下载 免费标准下载网(www.freebz.net)GB/T16595一19964网格单元布局4.1网格单元平面图4.1，规定了两种网格:一种用于不带主参考面的晶片(如晶片的主基准面是一个缺口)，另一种用于带主参考面的晶片。网格由18个同心圆分割，根据每个圆的直径确定所包含的径向分割单元数，由各个圆环面积确定同心圆的相对直径，用网格外径乘以对应的相对直径，可求出任一圆的实际直径(见表1>,表1网格单元平面图分割单元数夹角分割单元总数圆序号所包含面积比相对直径摊c0)N01490.040.0040.063202845.0120.0120.1095031622.5280.0280.1673042415.0520.0520.2280053012.0820.0820.2864063610.01180.1180.343507409.01580.1580.397508487.52060.2060.453909507.22560.2560.506030606.03160.3160.562111725.03880.3880.622912725.04600.4600.678213804.55400.5400.734814804.56200.6200.787415904.07100.7100.842616904.08000.8000.8944171003.69000.9000.9487181003.610001.0001.00004.1.2选择网格外径要与特定用途的晶片尺寸相对应。考虑到晶片的边缘去除、直径允许偏差变化和倒角，通常选择网格直径为固定优质区的公称直径。表2示出了一系列网格圆的直径。固定优质区的网格半径比GB/T12964或SEMIM1规定晶片的公称半径小3mm.表2固定优质区半径比晶片公称半径小3mm的各种规格晶片的网格圆直径公称直径，mm圆序号相对直径100125150200010.06325.947.529.1012.26020.109510.2913.0315.7721.24030.167315.7319.9124.0932.46040.228021.4327.1332.8344.23050.286426.9234.0841.2455.56060.343532.2940.8849.4666.64标准分享网www.bzfxw.com免费下载免费标准下载网(www.freebz.net)无需注册即可下载 免费标准下载网(www.freebz.net)GB/T16595一1996表2(完)公称直径，mm圆序号相对直径100125150200070.397537.3747.3057.2477.12080.453942.6754.0165.36，88.06090.506047.5660.2172.8698.16100.562152.8466.8980.94109.05110.622958.5574.1389.70120.84120.678263.7580.7197.66131.57130.734869.0787.44105.81142.55140.787474.0293.70113.39152.76150.842679.20100.27121.33163.46160.894484.07106.43128.79173.51170.948789.18112.90136.61184.05181.000094.00119.00144.00194.004.1.3按照圆序号和该圆上的分割单元数标定各个网格单元。圆从中心向外编号，中心圆为01号，而最外面的回为18号。把主基准面(参考面或缺口)放在网格的底部，从第一个分割单元开始沿水平线逆时针由网格中心向右延伸，分割单元从01到。逆时针依次编号。N等于圆上的分割单元总数。由逗点分开的两组数:圆序号(01^18)，分割单元(01-n)给出了一个单元的位置。单元(18,01)和(18,100)标在图1中。4.2不带主参考面的晶片4.2.，不带主参考面的网格单元示于图1。该网格图由表1所规定的相对直径作同心圆和径向分割单元绘制。在该表中，最左边列出了圆的序号，圆中分割单元数和分割线夹角在第二列和第三列给出。分割单元总数(从中心向外)在第四列中给出，所包含的面积比在第五列中给出，其数值为圆内含有的分割单元总数除以网格的分割单元总数1000。相对直径在最右列中给出，其值为所包含的面积比的平方根。图1不带主参考面晶片的网格图免费标准下载网(www.freebz.net)无需注册即可下载 免费标准下载网(www.freebz.net)GB/T16595一19964.3带主参考面的晶片4.3.1对于带主参考面的晶片，所有晶片的圆弧与水平弦相交所对应的角都用43.2。标准夹角。选择该标准夹角，是因为该角位于GB/T12964,SEMIMl中直径为100mm,125mm,150mm和200mm晶片所规定的主参考面的最大与最小夹角之间.若使用半径比晶片公称半径小3mm的固定优质区时，则在任何情况下，网格都不会超过晶片主参考面区域的边缘。4.3.2如图2所示，该参考面向晶片内扩展，各个圆的直径同不带主参考面时一样大小。参考面垂直向下扩展(从3号圆开始)，圆和水平弦相交，相交弦所对应的角43.20,图2带主参考面晶片的网格图4.3.3在参考面的扩展区域内，网格单元的面积稍小于规则网格单元面积.当计算带主参考面晶片的网格单元时，该差别可忽略。假设所有网格单元都为固定优质区面积的。.001.4,4副参考面4.4.1该网格忽略副参考面。这些副参考面是足够浅的，当使用半径比晶片公称半径小3mm的固定优质区时，则网格外圆不会超出晶片的边缘.标准分享网www.bzfxw.com免费下载免费标准下载网(www.freebz.net)无需注册即可下载'