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GBT11164-2011真空镀膜设备通用技术条件.pdf 9页

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'ICS23．160J78固雪中华人民共和国国家标准GB／T11164—2011代替GB／T111641999真空镀膜设备通用技术条件2011-11-21发布Vacuumcoatingplantgenericspecification2012-06-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局学者中国国家标准化管理委员会及113 GB／T11164—2011前言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯-1范围⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯2规范性引用文件⋯⋯3术语和定义⋯⋯⋯⋯4技术要求⋯⋯⋯⋯⋯5试验方法⋯⋯⋯⋯⋯6检验规则⋯⋯⋯⋯⋯7标志、包装、运输、贮存目次．i24---3．5≥64．4．7设备的外观质量应做到没有非功能性需要的尖角、棱角、凸起及粗糙不平表面。零部件结合面边沿应整齐匀称，不应有明显错位。金属零件的镀层应牢固，无变质、脱落及生锈等现象。所有紧固件应有防腐层。设备的涂漆表面应光洁、美观、牢固，无剥落起皮现象。4．5安全防护要求4．5．1关键部件的水冷系统中应有断水或水压不足的报警装置，并与电源、真空系统、传动系统相关联部分有联锁保护机构，这些保护机构的动作应灵敏可靠。4．5．2对装设电磁或气动阀门的设备，镀膜室充气阀与高真空阀及高真空阀与预抽阀均应保持互锁，突然停电时，阀门应能自动关闭。4．5．3设备及其附属的电气装置均应装设接地装置，接地处应有明显标记。4．5．4设备各单元到相附属的电控柜之间的连接导线和电缆应有防止磨损或碰伤的保护措施，如将其放置在导线管和电缆管道内，安装方法应符合GB5226．1—2008的规定。4．5．5设备的电气线路及电气元件应保证不受冷却液、润滑油及其他有害物质的影响。4．5．6操作中突然停电后，再恢复供电时应能防止电器自行接通。4．5．7在设备电气线路中，针对负载情况应采取短路保护、过电流保护等必要保护措施。4．5．8应用高压电源的设备，其装有高压电极的镀膜室的开启与高压线路的接通应有安全联锁装置。4．5．9设备中的高压、高频以及其他有可能产生损害人体的辐射部分应安装屏蔽装置，且屏蔽装置亦应接地。3 GB／T11164—20114．5．10外露的齿轮、皮带轮等应有可靠的防护装置。4．5．11液压或气压系统应有压力指示仪表及调节压力的安全装置。4．5．12设备的高压危险部位、高温部位、各种电极引线部位、机械传动部位应装设有明显易见的警告标志牌，设备的附属装置上也应装设为操作和安全所必需的标志牌，其应符合GB18209．1—2010的要求。5试验方法5．1极限压力的测定5．1．1试验条件试验条件如下：a)镀膜室内为空载(即不安放被镀件，也不进行沉积)，但不得拆去设备正常工作应安装的沉积源、工件架等；b)真空测量规管应装于镀膜室壁上或最靠近镀膜室的管道上；c)所用真空计应为设备本身的配套仪器，并应在校准有效期内；d)允许在抽气过程中用设备本身配有的加热轰击装置对镀膜室进行除气；e)对具有中搁板、上卷绕室和镀膜室的卷绕镀膜设备，应在两室同时抽气时对镀膜室的压力进行测试。5．1．2测试方法在对镀膜室连续抽气24h之内，测定其压力的最低值，定为该设备的极限压力。当压力变化值在0．5h内不超过5％时，取测量仪读数最高值为极限压力值，且镀膜室内各旋转密封部位处于运动状态。5．2抽气时间的测定5．2．1试验条件同5．1．1中a)、b)、c)、d)。5．2．2测试方法设备在连续抽气条件下，在镀膜室内达到极限压力之后，打开镀膜室15rain，再关闭镀膜室对其再度抽气至本标准表1中所规定的压力值所需的时间，定为该设备的抽气时间。5．3升压率的测定5．3．1试验条件同5．1．1。5．3．2测试方法设备在连续抽气24h之内使镀膜室内达到稳定的最低压力之后，关闭与镀膜室相连接的真空阀待镀膜室压力上升至P，(1Pa)时，开始计时，经1h后记录P：，然后按式(1)计算升压率：R一垦二塾t4 式中：R——镀膜室的升压率，单位为帕每小时(Pa／h)}声。——镀膜室的起始压力，单位为帕(Pa)}p：——镀膜室的终止压力，单位为帕(Pa)；￡——压力由户。升至p。#JAN，单位N／J,IN(h)。6检验规则GB／T11164—20116．1每台设备应经制造厂检验部门检验合格后方能出厂，并附有产品质量合格证。6．2设备的检验分型式检验和出厂检验。6．3型式检验项目为：本标准4．2．1及4．4．4，4．4．6，4．5中包含的全部内容。6．4在下列情况下应进行型式检验：a)试制的新产品；b)产品在设计、工艺或所用材料有重大变更时；c)同类产品的评比定级时；d)产品批量生产时。6．5出厂检验出厂检验应逐台进行，其检验内容为本标准4．2．1，4．4．4，4．4．6，4．5．1，4．5．2，4．5．7，4．5．84．5．10．4．5．11，4．5．12。7标志、包装、运输、贮存7．1标志7．1．1每台设备及其附属装置应在明显位置装上产品标牌，标牌应符合GB／T133062011的规定，产品标牌上应注明：a)制造厂名称；b)设备型号及名称；c)设备主要技术指标；d)制造日期及出厂编号。7．1．2每台设备出厂应随带下列文件：a)产品合格证；b)装箱单}c)产品使用说明书。7．2包装7．2．1设备包装前应对未做防锈处理的金属表面涂以防锈油脂。对整机包装的设备包装前镀膜室应抽成真空状态并关闭所有阀门。装箱前应将设备中的残余积水或废屑清除干净。7．2．2设备包装应符合GB／T13384--2008的规定。7．2．3包装箱应有起吊、怕湿、重心点、防止倾倒等贮运标志，这些标志应符合GB／T191～2008的规定。 GB／T11164—20117．3运输设备的运输方式和运输中所采取的措施应保证设备及其包装不发生损伤；设备在运输中有可能松散的零部件应有防松、垫、托等措施；运输中应有防止设备受到日晒、雨淋和剧烈震动的措施。7．4贮存7．4．1设备应贮存在相对湿度不超过90％的通风良好的场所，该场所应没有可引起腐蚀的酸、碱蒸汽和气体存在，整机包装的设备在存放期间不得破坏其镀膜室的真空状态。7．4．2设备贮存期超过一年，出厂前应重新进行出厂检验，合格后方能出厂。6'

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