GBT25496-2010吸气剂机械性能测试方法.pdf 12页

'ICS31-030L90囝雪中华人民共和国国家标准GB／T25496—2010代替GB／T9506．9—1988，GB／T9506．10一1988，GB／T6626．4—1986，GB／T9506．1l一1988吸气剂机械性能测试方法Testmethodsforthemechanicalpropertiesofgetters2010—12一01发布2011—05—01实施宰瞀鹘鬻瓣警糌瞥星发布中国国家标准化管理委员会促19 标准分享网www.bzfxw.com免费下载刖昌GB／T25496—2010本标准是将以下标准整合后进行修订的：——GB／T9506．9—1988《吸气剂装载量测试方法》；——GB／T9506．101988《吸气剂压制或烧结牢固度测试方法》；——GB／T6626．4—1986《释汞吸气剂性能测试方法释汞吸气剂压粉牢固度的检测方法》；——GB／T9506．11—1988《吸气剂支架焊接强度测试方法》。本标准与原标准相比主要变化如下：——在规范性引用中增加对GB／T4314《吸气剂术语》的引用；——将烧结型吸气剂的牢固度测试方法由跌落失重法更改为振动失重法；——增加用于ccFL的带状吸气剂牢固度测试方法；——焊接强度测试增加拉力试验器的测试方法}——增加吸气剂压制密度均匀性测试方法；——根据GB／T1．1—2000的要求进行格式修订。本标准代替下列标准：——GB／T9506．9—1988《吸气剂装载量测试方法》；——GB／T9506．10一1988《吸气剂压制或烧结牢固度测试方法》；——GB／T6626．4—1986《释汞吸气剂性能测试方法释汞吸气剂压粉牢固度的检测方法》；——GB／T9506．11—1988《吸气剂支架焊接强度测试方法》。本标准的附录A是规范性附录。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口。本标准起草单位：南京华东赛斯真空材料有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究所、中国电子科技集团公司第十二研究所。本标准主要起草人：薛函迎、郭卫斌、张巨先、刘筠。本标准所代替标准的历次版本发布情况为：——GB／T9506．9—1988；——GB／T9506．10—1988；——GB／T6626．41986：——GB／T9506．11一1988。 www.bzfxw.com吸气剂机械性能测试方法GB／T25496—20101范围本标准规定了吸气剂装载量、吸气剂压制或烧结固度、吸气剂载体与支架焊接强度、吸气剂压制密度均匀性等吸气剂机械性能测试方法。本标准适用于真空器件用吸气剂。2规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。GB／T4314吸气剂术语3术语GB／T4314所确定的术语和定义适用于本标准。4吸气剂装载量测试方法4．1原理采用直接称重法或差重法。4．2仪器分析天平(精度为o．1mg)。4．3测试步骤4．3．1无载体的试样用分析天平直接称量试样(精确到o．1mg)。4．3．2有载体的试样用分析天平称试样的重量，然后剥去试样上的载料，再用分析天平称吸气剂载体的重量(均精确到0．1mg)。4．4数据处理4．4．1装载量的计算4．4．1．1无载体试样直接由分析天平称出的量即为装载量wa(mg)。4．4．1．2有载体试样装载量按(1)式计算：Wd—W。一W，式中：Ⅳd——装载量，mg；W。——试样重量，mg；w。——载体重量，mg。 www.bzfxw.com标准分享网www.bzfxw.com免费下载GB／T25496—20104，4．2装载■一致性的计算4．4．2．1平均装载量平均装载量按(2)式计算式中：矸，d——平均装载量，mg；wa。——第i个试样的装载量，mgn——试样个数(n>9)。4．4．2．2装载量的标准偏差装载量的标准偏差按(3)式计算：式中：∞．——装载量的标准偏差，mg；wa——平均装载量，mg；Ⅳm——第i个试样的装载量，mgn——试样个数(n>9)。4．5测试报告测试报告形式如表1所示。∑w“Wd一!L／∑(Wm一识)2f}=1√——i=T～表1吸气剂装载量的测试报告装载量w。平均装载量雨。装载量标准偏差一_序号吸气剂型号mg4．6主要误差来源4．6．1分析天平的零点漂移和精度。4．6．2载料剥离的干净程度。5吸气剂压制或烧结牢固度测试方法5．1原理采用差重法测试失重量，即利用试样在震动或弯曲试验前后所出现的重量差额来表征吸气剂的总体压制或烧结牢固度。5．2设备a)分析天平：精度为o．1mg}b)弯曲试验机；c)振动试验台；d)切割机。5．3测试步骤5．3．1单个成品试样5．3．1．1压制试样将一个试样装粉面朝下，从规定高度处自由落于水平放置的具有纯白色底色的干净玻璃板上，根据， www.bzfxw.com试样跌落前后的重量，计算出失重量。不同重量压制试样的跌落高度见表2。表2不同重量的压制试样跌落高度GB／T25496—2010试样重量范围／mg≤400400～800≥800跌落高度／cm150100so5．3．1．2烧结试样所有试样称重后，分别放人用隔板分割为正方形区域的80目筛网中，分割区域的面积为烧结型试样最大垂直投影面积的(9～10)倍。以38Hz，振幅1．2mm的条件下振动40min后，再次分别称重试样，计算出失重量。5．3．2用于ccFL的带状吸气剂5．3．2．1从待测剂带上剪下(25±o．1)cm长的试样，用分析天平称重。5．3．2．2将试样剂带插入切割机(如图l所示)，切10片1．5mm长度的吸气剂片下来(如果为单面带，将有粉的一面向上)。5．3．2．3将切割下的试样与剩余试样放人50目的标准筛网中轻轻筛动，去除剥落的粉末。5．3．2．4用分析天平称重，测量其失重量。限位块图1切割机示意图5．3．3其他用途成卷带状试样5．3．3．1从待测剂带上剪下(25±o．1)cm长的试样，用分析天平称重。5．3．3．2将试样剂带插入“弯曲试验机”(如图2所示)，使手柄A和B都处于“开”的位置(试样若为双面压结带，插入试样时，如有钛汞合金粉层，则钛汞合金粉层应面向曲杆，试样若为单面压结带，无粉的一面应面向盐杆)。图2弯曲试验机示意图 www.bzfxw.com标准分享网www.bzfxw.com免费下载GB／T25496—20105．3．3．3转动手柄A，以夹紧试样带。5．3．3．4慢慢转动手柄B，使剂带绕直径为8mm的曲杆弯曲。5．3．3．5继续转动手柄B，直到为固定弹簧所固定为止(如图3所示)。图3弯酋方法示意图5．3．3．6转动手柄A，打到“开”的位置，松开试样带，用镊子小心地把试样带从处于绷紧位置的手柄B中取出(如图4所示)。图4取出试样方法示意图5．3．3．7拿住试样的两头，轻微拉开，观察试样弯曲后粉层变化情况(如图5所示)。试样无5倍放大镜观察可见的粉末脱落为合格。观察点图5观察试样方法示意图 www.bzfxw.comGB／T25496—20105．3．3．8用分析天平再次称重。根据试样检测前后的重量算出失重，即掉粉量(m)。5．4数据处理5．4．1失重量失重量按(4)式计算：式中：△W——试样的失重量，mg；w。——试样测试前的重量，mg；w。——试样测试后的重量，mg。5．4．2平均失重量平均失重量按(5)式计算：式中：△雨——试样的平均失重量，mg；△w。——第f个试样的失重量，mgn——试样个数(n>9)。5．4．3失重量的标准偏差失重量的标准偏差按(6)式计算：jⅫ一W。一W∑△w。△Ⅳ一!±一压丽二再』二=!——————————～～n一1式中：d一——试样失重量的标准偏差，mg；△霄一试样的平均失重量，mg；△w，——第i个试样的失重量，mg；n——试样个数(n>9)。5．4．4最大失重量n个试样中掉粉量(失重量)最大的数值就是试样的最大失重量。5．4．5平均失重率平均失重率按(7)式计算：y积％)一铲×100式中：yw——试样的平均失重率，％；雨d——试样的平均装载量，mg；△霄——试样的平均失重量，mg。5．5测试报告5．5．1单个成品试样测试报告形式如表3。用符号△Ⅳ。表示，单位为mg。 www.bzfxw.com标准分享网www.bzfxw.com免费下载GB／T25496—2010表3单个吸气剂牢固度的测试报告试样个数平均装载量下落高度平均失重量失重量标准偏差平均失重率最大失重量吸气剂型号仉H△W‰△Ⅳ。只mg％mg5．5．2带状试样测试报告形式如表4。表4带状吸气剂牢固度的测试报告失重量△W吸气剂型号粉层变化情况(目测)mg5．6主要误差来源5．6．1分析天平的零点漂移及精度；5．6．2跌落高度的误差；5．6．3玻璃板或弯曲试验机上的清洁程度。5．7注意事项5．7．1供测试的试样应无辅助零件；5．7．2进行带状试样测试时，若是单面带，需将无粉的那一面面向试验机的曲杆；5．7．3试样平均装载量的测试方法见第4章。6吸气剂载体与支架焊接强度测试方法6．1设备a)尖头钳；b)拉力试验器。6．2弯曲测试步骤6．2．1T形支架的测试将吸气剂载体固定后，用尖头钳夹住支架末端。按图6所示的方向弯曲90。，然后回复原位，支架与载体不分离，再用同样方法测试支架的另一末端。1——尖头钳；2——支架；3——吸气剂载体；4——焊点。图6T型支架焊接强度试验的弯曲方向6．2．2L形支架的测试6．2．2．1将吸气剂载体固定后，用尖头钳夹住支架的末端，按图7a)所示的方向弯曲45。，然后回复原位，支架与载体不分离。6 www.bzfxw.com6．2．2．2在同一样品上，再按图7b)所示的方向扭曲45。，支架与载体不分离。乍卞fI∑3＼＼：：～奎／