GBT14601-1993电子工业用气体高纯氨.pdf 5页

'中华人民共和国国家标准GB/T14601一93电子工业用气体高纯氨Gasesforelectronicindustry-Highpurityammonia1主题内容与适用范围本标准规定了电子工业用气体高纯氨的技术要求，试验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。本标准适用于瓶装高纯氨。该产品主要用于半导体工业，氮化硅的化学气相淀积，也可用于硅或氧化硅的氮化。分子式:NH,相对分子质量:17.031(按1989年国际相对原子质量)2弓!用标准GB19。危险货物包装标志GB5099钢质无缝气瓶GB5831气体中微量氧的测定比色法GB6285气体中微量氧的测定电化学法GB7144气瓶颜色标志GB7445氢气GB8980高纯氮GB8984气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定气相色谱法GB10625高纯氢中微量氮的测定电子迁移气相色谱法GB14606气体中总烃的测定火焰离子化检测法3技术要求电子工业用气体高纯氨的质量应符合下表的技术要求。项目指标氨的纯度，10-1)99.999氧含量,1。一‘<2氮含量.1。一“<5一氧化碳含量.1。~‘<1kz(CG^C,)含量,10-1<1水含量，10-1<5总杂质含量10-110注:纯度及含量均以体积分数表示。国家技术监普局1993一08一26批准1994一07一01实施 GB/T14601一934检验方法4-1盆纯度的测定按式(1)计算氨的纯度。P=10。一(仍+叽+PS+P4十9})x10-"············⋯⋯(1)式中:91-氨的纯度，10-3;外—氧含量,10-0;9Pe氮含量，10-`;外—一氧化碳含量,10-s,9}4-烃(CI-C3)含量,10-b;叽—水含量,10-`04.2级含f的测定4.2,，按GB5831的规定进行测定。4.2.2按GB6285的规定进行测定。注:4.2.1及4.2.2两种方法具有同等效力。4.3氮含a的测定按GB10625的规定进行测定。在测定之前，需要在检测器前串联一根长30cm、内径3mm的3A分子筛(0.25-0.20mm)柱。4.4一叙化碳含f的测定按GB8984的规定进行测定。色谱柱改用串联柱:长20cm、内径3mm的3A分子筛(0.25-0-20mm)柱串联一根长30cm、内径3mm的活性炭(0.40^-0.25mm)柱。采用以氮为底气的标准混合气。4.5烃(C,-C,)含f的测定按GB14606的规定进行测定。色谱柱改用长30cm、内径3mm的3A分子筛(0.25^-0.20mm)柱。采用以氮为底气的标准混合气。4.6水含f的测定4.6.1方法原理氨气以恒定的流量通过碳化钙反应管，在这里水与碳化钙反应生成乙炔，随后进入带有氢焰离子化检测器的气相色谱仪测定乙炔的浓度，并计算水的含量。反应式为:2H,0十CaCi=Ca(OH),十C,H24.6.2仪器带氢焰离子化检测器的气相色谱仪。仪器对乙炔的最低检测量应小于0.2x10-"(V/V).色谱示意流程图见附录A(参考件)。4.6.3碳化钙及反应管的准备4.6.3.1碳化钙的准备在千燥的环境中将碳化钙粉碎过筛(尽量避免与湿气接触)，筛取。.80-0.25mm的碳化钙贮于玻璃容器中，用橡胶塞密封，橡胶塞上打一个6mm小孔，并用短玻璃棒塞住备用.4-6-3.2反应管及其装填反应管长24cm、厚约1mm的玻璃管，中间部分外径8mm.一端外径4mm、长3cm，另一端外径6mm、长3cm.用少量玻璃纤维塞入反应管外径4mm的一端，另一端擂人贮存碳化钙的玻璃容器的橡胶塞孔中，倒转容器，轻轻拍打反应管，直到填满，平放反应管，小心取下容器，重新塞好。反应管用玻璃纤维塞好，两端用橡皮塞封住备用。4.6.33反应管装填时，操作要迅速，尽可能在干燥环境中进行。 GB/T14601一934.6,3.4反应管应在使用时装填。当反应管中有1/3的碳化钙变成白色粉沫时，应重新装填。4.6,3.5反应管与系统之间的联接采用聚四氟乙烯管。4.6-3.6根据不同情况，反应管的尺寸允许改变。4.6.4操作参考条件4.6.4.1载气:氮,GB8980中的合格品，流量为35mL/min;4.6.4.2燃烧气:氢,GB7445中的纯氢，流量为35mL/min;4.6.4.3助燃气:空气，无油和水，流量为400mL/min;4.6,4_4色谱柱:长2m，内径3mm的不锈钢管，内装。,25-0.20mm的3A分子筛，在380℃下通氢气活化4h;4.6.4.5色谱柱a度:70"C;4.6.4.6氢焰离子室温度:100"C;4-6.4-7碳化钙反应管:见4.6.3.2，反应管温度为室温;4.6.4.8取样流量:500-600mL/min;4.6-4.9记录仪:1一5mV,4.6，5标准混合气的规定标准混合气以氮为底气，乙炔含量应与待测样中水转化成乙炔的含量接近。标准混合气应具有国家标准化行政主管部门批准的编号。4.6，6测定步骤4.6，61仪器准备按仪器使用说明书及操作条件开启仪器，严格试漏，以保证气密性，直到仪器稳定。4.6.6.2定标将标准混合气气瓶经针形阀及金属管道与仪器紧密连接，打开瓶阀及针形阀，充分置换取样系统，切换六通阀进样，测定并记录乙炔的峰面积A,(或峰高h,),4.6.6.3样品测定将样品气经针形阀，聚四氟乙烯管接头与碳化钙反应管和仪器紧密连接，打开瓶阀及针形阀，调节流量至50。一600mL/min，在恒定温度下吹洗30min使反应管内建立平衡，然后切换六通阀进样，测定并记录乙炔的峰面积A,(或峰高h,),4.6.7结果计算4.6.7.1水含量按式(2)计算:2A。2hA=f七代卜XR(或pi=;二代，X4")·······”···“······”一(2)1.4A,、刀、~刀1.4h,式中:叭—样品气中水的含量，10-`(V/V):9z—标准混合气中乙炔的含量,10-"(V/V)=A,(或h,)—样品气中乙炔的峰面积(或峰高)，mm"(或mm);A,(或机)—标准混合气中乙炔的峰面积(或峰高)，mm"(或mm);1.4—以氮为底气的标准混合气换算成以氨为底气的换算系数;2—水含量等于所测得的乙炔含量的2倍.4.6.7.2三次平行测定结果的算术平均值为测定结果，平行浏定结果的相对偏差不得大于20%a5检验规则5.，出厂产品应由生产厂的质量监督部门按本标准的规定进行验收检验，保证出厂产品符合本标准规定的要求。5.2电子工业用气体高纯氨应逐瓶检验，检验结果若有一项指标不符合本标准要求时，则该瓶产品为 GB/T14601一93不合格品。5.3用户有权按本标准规定的要求进行验收。5.4当供需双方对产品质量发生异议时，可由双方共同验收，或提请仲裁。标志、包装、贮存和运精气瓶的使用、贮存和运输应符合《气瓶安全监察规程》和《危险货物运输规则》等有关的规定。:.;气瓶的颜色和包装标志应符合GB7144和GB190的规定。气瓶上应标上“电子工业用气体高纯氨”的字样。6.3电子工业用气体高纯氨采用普通气瓶包装，气瓶瓶阀应为钢质，不允许使用铜或铜合金制成的阀门。气瓶的公称工作压力不得小于3MPa,6.4瓶装高纯氨以液态形式存在，称重计量，充装系数为0.53kg/L,6.5充装高纯氨的气瓶瓶阀及瓶颈螺纹连接处不得泄漏，并必须戴好安全帽。6.6返回生产厂的空瓶，应留有余压。67出厂产品必须附有合格证书，其内容包括:生产厂名称;b.产品名称;气瓶瓶号;d.生产日期;e.产品净重(kg);f.执行标准代号。了安全要求了.1氨是无色有刺激臭味，能伤害人的眼睛和呼吸器官的物质，在使用时应戴好口罩、橡胶手套及防护眼镜，防止人身与氨接触，以免烧伤。7.2氨是可燃易爆性物质，它与空气或氧气混合达到一定浓度，就有发生爆炸的危险。7.3在使用氨的环境中不能有明火。7.4氨气瓶应贮存在不易起火的地方;运输及搬运时避免受冲击、跌落和阳光照射。 GB/T14601一93附录A色谱示意流程图(参考件)图A11一氢气;2一氮气泊一样品气以一空气，5---氢气表;6-氧气表刃一针形阀8一稳压阀;9--碳化钙反应管i1。一干燥净化管;11一流量计;12一六通阀;13一色谱柱;14-氢焰离子化检测器附加说明:本标准由中华人民共和国化学工业部提出。本标准由化学工业部西南化工研究院归口。本标准由化学工业部西南化工研究院、北京氧气厂负责起草。本标准主要起草人戴培述。'