GBT14604-2009电子工业用气体氧.pdf 11页

'免费标准下载网(www.freebz.net)BCs71~100.20G86中华人民共和国国家标准GB/T14604-2009代替GB/T14604—1993电子工业用气体氧ˉGasforeIectronicindⅡstryˉOXygen2009-10-30发布⒛10-05-01实标准分享网www.bzfxw.com免费下载施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布中国国家标准化管理委员会免费标准下载网(www.freebz.net)无需注册,即可下载 免费标准下载网(www.freebz.net)中华人民共和国国家标准电子工业用气体氡-2009GB/T1460⒋中国标准出版社出版发行北京复兴门外三里河北街16号邮政编码:1000奶网址www∶spCnctcn电话:6852394668517548中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷各地新华书店经销开本880×12∞1/16印张0~75字数1?干字一一2009年12月°9年12月第版⒛第次印刷书号:15sO66·⒈39315定价1600元如有印装差错由本社发行中心调换版杈专有侵权必究举报电话:(010)6∞33s33免费标准下载网(www.freebz.net)无需注册,即可下载 免费标准下载网(www.freebz.net)GB/T14604-2009目刂吕本标准代替GB/T14604—1993《电子工业用气体氧》。本标准与GB/T14604—1993相比主要变化如下:——修改电子工业用氧的适用范围(GB/T14604—1993的第1章,本版的第1章);——修改规范性引用文件(GB/T1准604—1993的第2章,本版的第2章);——修改技术指标内容(GB/T14604—1993的第3章,本版的第3章),——修改瓶装电子工业用氧采样要求(GB/T14604—1993的钅1,本版的413);——修改瓶装电子工业用氧抽样方法(GB/T⒕sO4-19gs的第5章,本版的4.11、41,2、414),——一修改氢、氩、氮、氪、氧化碳、二氧化碳、氧化亚氮、总烃和水含量的分析方法和标准样品的规一定,当出现多种分析方法时,规定仲裁方法(GB/T1460遮1993的4,3、44、茌5、众6、47、48,本版的43、4.4、4.6、47、4.8);——一增加氧化氮含量的分析方法(本版的45);——修改标志、包装、贮运及安全(GB/T14604-1993的第6章、第7章,本版的第5章);——删去GB/T14604—1993的附录A和附录B;——增加规范性附录A,并把采用氦离子化气相色谱法测定电子工业用氧中的氢、氩、氮和氪组分的方法写人该附录(见附录A);——增加规范性附录B,并把采用氦离子化气相色谱法测定电子工业用氧中的一氧化碳、二氧化碳和氧化亚氮组分的方法写人该附录(见附录B)。本标准的附录A、附录B为规范性附录。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。本标淮由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会归口。本标准起草单位:中国计量科学研究院、西南化工研究设计院。本标准主要起草人:周泽义、周鹏云。本标准所代替标准的历次版本发布情况为:———GB/T14604-1993。免费标准下载网(www.freebz.net)无需注册,即可下载 免费标准下载网(www.freebz.net)GB/T14604-200g电子工业用气体氧1范围本标准规定了电子工业用氧的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法、电解法提取的气态或液态氧,以及经纯化方法得到的氧。它们主要用于二氧化硅化学气相淀积,用作氧化源和生产高纯水的反应剂,用于等离子体蚀刻和剥离、光导纤维。分子式:02。相对分子质量:31.9988(按2005年国际相对原子质量计算)。2规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文仵,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文仵,其最新版本适用于本标准。GB190危险货物包装标志GB/T3723工业用化学产品采样安全通则GB/T3863工业氧GB5099钢质无缝气瓶(GB5099-1994,ncqIso4705:1993)GB71狃气瓶颜色标志GB/T89泓气体中-氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定气相色谱法GB1狃94永久气体气瓶充装规定GB/T14600电子工业用气体氧化亚氮GB16912深度冷冻法生产氧气及相关气体安全技术规范JB/T5905真空多层绝热低温液体容器JB/T6897低温液体运输车JB/T6898低温液体贮运设备使用安全规则气瓶安全监察规程压力容器安全技术监察规程压力管道安全管理与监察规定3技术要求电子工业用气体氧的质量应符合表1的要求。表1技术指标项目指标z≥氧(0)纯度/含量(体积分数)/1。9999989998995氢(H2)含量(体积分数)/10ε(01l1“氩(AD含量(体积分数)/1。(l0氮(N2)含量(体积分数〉/lOε(05一氧化碳(Co)含量(体积分数)/10;(0111免费标准下载网(www.freebz.net)无需注册,即可下载 免费标准下载网(www.freebz.net)GB/T14604-2009表1(续)项目指标二氧化碳〈Co2)含量〈体积分数)/10: