GBT26028-2010铝蒸发料.pdf 7页

'ICS77．150．99H68圆亘中华人民共和国国家标准GB／T26028—20102011-01—10发布铝蒸发料：Evaporatedaluminummaterial2011—10一01实施丰瞀鳃鬻瓣訾糌瞥星发布中国国家标准化管理委员会厘111 标准分享网www.bzfxw.com免费下载前言本标准由全国有色金属标准化技术委员(sAc／Tc243)归口。本标准由有研亿金新材料股份有限公司负责起草。本标准主要起草人：尚再艳、王永辉、王鹏、杨永刚、熊晓东、江轩。GB／T26028—2010 www.bzfxw.com1范围铝蒸发料GB／T26028—2010本标准规定了铝蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与订货单(或合同)内容。本标准适用于半导体行业用的各类铝蒸发料。其他用途的铝蒸发料也可参照使用。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB／T2828．1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划GB／T15077贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法3要求3．1产品分类铝蒸发料的类型按铝的纯度分为Ic—A199．999和IC_A199．9995两种。铝蒸发料形状主要分为片状和柱状两种，如图1所示。L—————』————一片状3．2成分要求铝蒸发料的化学成分要求见表1。卜———J——一图1铝蒸发料示意图oHn¨㈠¨UH www.bzfxw.com标准分享网www.bzfxw.com免费下载GB／T26028—2010表1铝蒸发料的化学成分牌号Ic_A199．999Ic_A199．9995A1含量不小于99．99999．9995As、Ag、Au、B、Be、Ca、Ce、Cr、Cs、Cu、Fe、K、Li、Mg、Mn、Na、Ni、P、Sb、Si、Sn、Th、必检杂质元素Ti、U、V、Zr、ZnO．0010．OOO5杂质总含量不大于其中：K+Na+Li：≤o．0001其中：K+Na+Li：≤o．ooo1注1：铝的含量为100％减去表中杂质元素实测总和的余量。注2：顾客对某种特定杂质元素含量有要求的，由供需双方协商确认。铝蒸发料的非金属元素含量(％)要求如下：C：≤O．0020、Cl：≤O．0004、N：≤0．0010、O；≤0．0030、H：≤0．0001、S：≤O．001O3．3供货状态铝蒸发料以加工态供货。3．4几何尺寸铝蒸发料的规格及允许偏差如表2所示。表2铝蒸发料规格片状柱状项目ABCRDL102136尺寸／mm1521．56720允许偏差／mm士0．5士O．5土O．2土1士1注：经双方协商，可提供其他规格及允许偏差的铝蒸发料。3．5外观质量铝蒸发料表面应光亮平整、洁净，边、角完整，无飞边、无毛刺、无夹杂、无裂纹等缺陷；应清洁、无油污和锈蚀；应无颗粒附加物和其他沾污。4试验方法4．1铝蒸发料的金属杂质、c1含量采用辉光放电质谱(GDMs)检测。非金属杂质元素c、N、O、H、s2 www.bzfxw.comGB／T26028—2010的分析方法由供需双方协商决定。4．2铝蒸发料几何尺寸的测量按GB／T15077规定进行。客户特别要求，可按技术协议或按需方图纸、来样检查验收。4．3外观质量用目视检查，如发现异常现象，用10倍放大镜鉴别。5检验规则5．1检查和验收5．1．1铝蒸发料由供方检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准(或订货合同)的规定，并填写质量证明书。5．1．2需方应对收到的产品按本标准的规定进行检验，如检验结果与本标准(或订货合同)的规定不符时，应在收到产品之日起3个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样由供需双方共同进行。5．2组批铝蒸发料应成批提交检验。每批应由同一炉次、牌号和规格的产品组成。5．3检验项目、取样位置和取样数量取样位置和取样数量按表3的规定进行。表3检验项目、取样位置及数量棱验项目取样位置取样数量要求的章条号检验方法的章条号化学成分熔炼留样每炉1个3．24．1按GB2828．1标准取S_1，尺寸成品随机取样3．44．2AQL一1．5抽取样品按GB2828．1标准取s-1，表面质量成品随机取样3．54．3AQL=1．5抽取样品包装质量逐件6．2．14．45．4检验结果判定5．4．1化学成分不合格时，重新取双倍样进行重复试验，若检验合格，判该炉铸锭成分合格，若仍有不合格，则判该炉铸锭不合格。5．4．2尺寸不合格时，判该批产品不合格。5．4．3外观质量不合格时，判该批产品不合格。 www.bzfxw.com标准分享网www.bzfxw.com免费下载GB／T26028—20106标志、包装、运输、贮运6．1标志在已检验合格的每瓶或每袋产品上应附标签，注明：a)产品名称；b)纯度；c)规格；d)净重；e)批号；f)生产日期；g)供方名称；h)生产厂家地址电话。6．2包装、运输和贮存6．2．1铝蒸发料内包装可采用塑料瓶包装和真空封装两种，塑料瓶包装的瓶口铝封膜要封口完整，无开裂，无贯通。真空袋封口要平整无贯通，真空袋体无漏洞，无真空泄漏。6．2．2外包装采用纸箱或木箱包装。经供需双方协商还可采用其他方式包装。6．2．3产品运输过程中应防止碰伤、擦伤，不得损坏和沾污产品，并保证运输过程中产品及包装完整。6．2．4产品应保存于清洁、干燥的环境中。6．3质量证明书每批产品应附有质量证明书，注明：a)客户名称；b)供方名称；c)产品名称；d)纯度；e)规格；f)数量；g)净重；h)批号；i)检测报告和技术监督部门印记；j)生产日期；k)执行标准号。7订货单(或合同)内容订购本标准所列产品的订货单(或合同)内应包括下列内容a)产品名称；b)纯度； www.bzfxw.comc)规格；d)数量；e)执行标准号；f)其他。GB／T26028—20105'