特种气体及电子级气体系列产品建设项目可行性研究报告 84页

'特种气体及电子级气体系列产品建设项目1、总论1.1概述1.1.1项目名称、建设单位项目名称：××特种气体及电子级气体系列产品建设项目主办单位名称：××企业性质：股份有限公司法定代表人：××投资项目性质及类型：新建项目1.1.2主办单位的基本情况××，创立于2012年8月，由××××气体有限公司为投资主体，××为技术依托而组建的具有高技术含量的气体公司；公司注册资本1000万元，占地约35亩，员工50名，其中工程技术人员16名。专业从事电子级气体（电子级氨、氯气、磷烷、乙硼烷、砷烷、氟化物及其它电子级电子类混合气体）的提纯、储存、销售；同时还有氧、氮、氩、氢气的提纯、储存、销售的公司。1.1.3项目提出的背景、投资必要性和经济意义1.1.3.1项目背景电子气体是IC制造过程中必不可少的原料。同时它也广泛应用于光电子、化合物半导体、太阳能光伏电池、液晶显示器、光导纤维制造等其它诸多领域。IC制造的前道工序如外延、化学气相沉积、离子注入、掺杂、刻蚀、清洗、掩蔽膜生成等工艺，几乎都需要不同种类和不同纯度的电子气体，正是这些气体通过不同的工艺使硅片具有半导体性能。电子气体的纯度直接影响IC的性能、集成度、成品率；电子气体占IC制造材料成本的约20%，电子气体的价格影响IC的市场竞争力，所以电子气体是IC制造关键材料之一。随着IC制造工艺及技术的发展，芯片尺寸的不断增大，工艺不断提高，特征尺寸线宽不断减小，要求IC制程用的各种电子气体质量纯度、特定技术指标不断提高。目前8英寸以上工艺要求电子气体纯度大都在99.999%（5.0N）以上，有害杂质甚至要求达到10-9（ppb）。电子气体可以用“超纯”、“超净”来表征。84 目前世界IC制造中心不断向中国转移，近几年我国IC增长速度达到每年30%左右，作为IC制造必不可少的关键材料电子气体，其需求总量大大超过人们的预期，到2012年国内电子气体年需求将超过30亿人民币。我国电子气体整体水平和国外还有一定的差距，8英寸以上IC生产线使用的电子级电子气体几乎全部依赖进口。同快速发展的我国IC产业相比，与之相关的我国电子气体的研究与生产极相对落后。为适应我国集成电路产业的健康稳定可持续发展，提升我国集成电路装备、工艺及材料的自主创新能力和市场的竞争力，解决我国IC、光电子、太阳能、光伏电池、平板显示器、光导纤维等制造业对国外进口电子气体的依赖。我公司对高纯电子气体的生产工艺技术研究已经成熟、非常必要、意义重大。两硅生产企业需要电子级气体及工业气体，作为硅电子产业园区一体化供气配套的气体项目，园区内供气是当前园区建设的基本需求，有利于资源的优化配置，形成工业定性规模发展之必须，是衡量园区整体流程合理性及一体化程度的标志之一。1.1.3.2国家政策国发〔2010〕32号《国务院关于加快培育和发展战略性新兴产业的决定》，明确了新一代信息技术（集成电路、新型显示、高端软件、高端服务器等核心基础产业）和新能源（加快太阳能热利用技术推广应用，开拓多元化的太阳能光伏光热发电市场）是我国加快培育和发展的两大战略新兴产业。本项目属于《产业结构调整指导目录（2011本）》中鼓励类项目的第十一大条中石化化工中第14条规定的电子气，属于新型精细化学品的开发和生产，符合国家及地方相关产业政策要求。1.1.3.3项目建设的必要性和经济意义（一）信息技术作为科学技术领域发展最快的门类之一，是一个国家由工业化向信息化发展的根本标志，其重要作用已受到国内外的广泛重视，已成为维护国家安全、增强综合国力的关键所在。能源是人类生存和发展的重要基础，能源是经济社会可持续发展的必要条件。发展新能源，是保持我国经济可持续发展、保护环境、提高能源供应安全事关全局的重大战略性任务，对于我国促进产业结构升级，转变经济发展方式，推动经济平稳较快发展有着十分重要的意义。84 我国自上世纪六十年代中期研制成功集成电路以来，经过四十年的发展，制造工艺已经达到最高90纳米、主流技术0.18微米的技术水平，已经跨入世界半导体晶元加工制造先进国家行列。目前世界半导体制造的中心不断向亚洲，向中国转移，近几年我国IC增长速度达到每年30%左右，光伏太阳能电池、半导体发光材料（半导体照明）和平板显示器件的发展势头也异常迅猛。（二）高纯电子气体是“信息技术”和“新能源”两大战略性新兴产业的关键支撑材料，是高端通用芯片技术、12英寸集成电路芯片生产工艺、高性能半导体材料（半导体照明材料）规模化生产技术、TFT-LCD平板显示技术等领域的关键原材料，同时也是硅太阳能电池和薄膜太阳能电池的关键材料。电子气体通过外延生长、离子注入、掺杂、刻蚀、清洗、掩蔽膜生成等关键工艺使硅材料（基底材料）具备半导体等光电性能，它决定了集成电路、半导体材料的性能、集成度、成品率，被称为半导体集成电路制造的“粮食”或“源”，是众多高新技术产业不可或缺的关键原材料，具有通用性强、系列化程度高的特点。长三角及周边地区是我国半导体集成电路产业集聚地，根据半导体集成电路市场需求，不断开拓长三角区域的业务，发挥区域优势，结合中国××提供的电子气体产品新技术，为我国信息技术和新能源产业的发展做出积极的贡献。（三）在长三角地区，一共有4家电子材料中心（液化空气张家港材料中心、林德苏州、大阳日酸扬州、昭和电工××），他们全部为外资公司，长时间的技术垄断，我们要为民族工业的振兴做出自己的努力。因此，××实施新的工程建设，生产以上产品，是很必要的。1.1.4编制依据、指导思想和原则1.1.4.1可行性研究报告编制的依据1）可行性研究报告的内容和深度按中国石油和化学工业联合会中石化联产发【2012】115号文关于印发《化工投资项目可行性研究报告编制办法》（修订版）编制。2）《中华人民共和国工业和信息化部公告》2013年第35号；3）××提供的相关基础资料。4）国家有关法规和技术标准文件；5）××与××设计有限公司（乙方）签订的项目可行性研究报告编制合同。84 1.1.4.2可行性研究报告编制的指导思想和原则1、本项目“可行性研究报告”按照国家有关工程建设项目可行性研究报告内容和深度的规定，并结合项目具体情况进行编制。2、认真贯彻执行工程设计及工程建设的有关规范、标准。3、工艺技术力求先进、合理、可行，体现国内外先进水平。4、严格按照国家、社会、行业和地区长远发展规划及有关产业政策、技术政策的要求，积极贯彻执行国家及地方的环境保护、“三废”治理、劳动保护、安全卫生、消防方面的法规及其与主体工程建设“三同时”的原则。5、充分依托××的基础设施和投资环境，节省项目建设投资。1.1.5研究范围本可行性研究报告的基本任务是分析论证该项目投资的必要性、工艺技术的可行性及经济上的合理性。其范围为：1）本项目产品的国内、外市场需求预测，产品方案，生产规模的确定及产品价格分析；2）对本项目采用的工艺技术方案进行认证；3）主要设备的选择；4）原材料、公用工程消耗及供应方案确定；6）“三废”处理、劳动保护、消防设施等方案的确定；7）投资估算和财务分析。1.2研究结论1.2.1简要结论经调查研究和分析论证，本报告认为，××年产××建设项目在技术和经济上都是可行的，其主要结论如下：1）本项目厂址拟建于位于××，区内水、电、汽、污水处理、固废处理等公用工程配套齐全，因此本项目选址合理。2）根据国内外市场调查，本项目产品市场容量大，项目实施后可望有较好的经济效益和社会效益。3）本项目建设单位有丰富的化工生产经验，并有较雄厚的技术力量，这为开发本项目产品提供了生产技术和营销的保证。84 4）本项目“三废”处理措施切实可行，没有生产工艺污水，对环境造成污染较小。综上所述，本项目的投资是必要的、可行的。1.2.2主要技术经济指标（表1-1）表1.1主要经济技术指标表序号项目名称单位数量备注一产品方案及生产规模1主要产品及生产规模1.1电子级氨t/a1.2电子级磷烷t/a1.3电子级乙硼烷t/a1.4电子混合气：以电子级磷烷、电子级乙硼烷、电子级硅烷（电子级氮/氢/氩/氦/二氧化碳平衡气）为主要组分配制的电子混合气，以电子级氟化物（以超纯氧为平衡气）为主要组分配制的电子混合气t/a1.5标准混合气（食品级二氧化碳-环氧乙烷混合气）t/a1.6电子级氯气t/a1.7电子级一氧化二氮t/a1.8电子级三氟化硼t/a1.9电子级六氟乙烷t/a1.10电子级一氟甲烷t/a1.11电子级二氟甲烷t/a1.12电子级三氟甲烷t/a1.13电子级八氟环丁烷t/a1.14电子级四氟化碳t/a1.15电子级砷烷t/a二年工作时天四班三运转制三主要原材料用量1工业液氨t/a2工业液氯t/a84 3医用一氧化二氮t/a4硼氢化钠t/a5磷化铝t/a6碘t/a8液氮t/a9液氩t/a10氦气Nm3/a11液氧t/a12氢气Nm3/a13食品级二氧化碳t/a14环氧乙烷t/a15BF3t/a16C2F6t/a17CH3Ft/a18CH2F2t/a19CHF3t/a20C4F8t/a21CF4t/a22硅烷t/a23砷化锌t/a24稀硫酸t/a四公用动力消耗量1水t/a2电万·kWh/a五三废排放量1废水t/a2废气t/a3固废t/a六总定员人84 1生产人员人2非生产人员人七本项目占地面积m2八综合能耗总量吨标煤/年九单位产品综合能耗吨标煤/吨产品十单位产值综合能耗吨标煤/万元十一工程项目总投资额万元十二年均销售收入万元十三成本和费用1年均总成本费用万元2年均经营成本万元十四年均利润总额万元十五年均销售税金及附加万元十六财务评价指标1总投资收益率%2资本金利润率%3静态投资回收期年4全投资财务内部收益率%%5全投资财务净现值（ic=14%）万元万元1.2.3存在的主要问题和建议1.2.3.1存在的主要问题特种气体及电子级气体产业属于特种行业的新兴产业，本项目的生产技术在国际、国内处于领先地位。2、市场预测2.1国内外市场情况预测2.1.1电子级气体发展情况电子级气体是IC、LED、LCD、太阳能领域重要的84 “源”性气体，没有超纯气体，许多高科技就不可能发展，我国早在“六五”期间就开展超纯气体的系列研究，经过近三十年的技术攻关，尤其是近几年受其下游需求的刺激，中国气体发展发生质的飞跃，中国超纯气体的崛起，改变了国外气体公司在中国一统天下的格局，其中以电子级氨为代表的国产气体，已经成为光伏太阳能企业的主供应商，随着中国光伏发展，国产氨将向质优、价廉的方向发展，其用量将超乎想象，如此大的用气量，正是国产氨竞争的优势，由于氨的化学性质，就近供气将是趋势。2.1.2电子级气体应用的分布情况(1)电子级液氨目前，我国电子级氨用户主要集中在光伏、半导体、光导纤、LED以及光伏产业。(2)电子级磷烷、电子级砷烷、电子级乙硼烷使用厂家主要集中在河北、北京、江浙等地区，同时它也广泛应用于光电子、化合物半导体、太阳能光伏电池、液晶显示器、光导纤及LCD制造等其它诸多领域。(3)含磷烷、乙硼烷组分的混合气体主要应用于LED、半导体、光纤、太阳能等领域，用户多分布于长三角领域。(4)四氟化碳等含氟化合物在IC制造工艺过程中大量使用诸如四氟化碳等化合物，含氟气体是重要的不可缺少的电子气体材料，目前应用在6吋、8吋线的刻蚀、清洗工艺中。如99.999%的四氟化碳气体国内每年用量约1500瓶，提纯技术及设备、分析测试方法和仪器落后，目前四氟化碳（99.999%）几乎全部从国外进口，每年大约要消耗450多万美金的外汇。(5)八氟环丁烷为了保护大气臭氧层，目前IC线上主流的清洗和刻蚀气体之一的C2F6将被逐步取代，目前国内C2F6在6吋和8吋线上的用量，每年大约要15000瓶用量，约合600吨/年。而八氟环丁烷将替代六氟乙烷担任未来刻蚀和清洗的重要角色。目前国内99.999%八氟环丁烷严重短缺，近几年来由于某些工艺要求使用99.999%的八氟环丁烷，而国外报价很高。2.2产品市场预测表2.1本项目产品价格预测表序号产品名称单位预测价格备注1电子级液氨万元/吨2.484 2电子级磷烷万元/吨1253电子级乙硼烷万元/吨1424电子级氯气万元/吨165电子级一氮化二氮万元/吨216标准混合气元/瓶600-50007以磷烷、乙硼烷为主要组分的电子气体元/瓶0.2-1.08电子级三氟化硼元/g89电子级六氟乙烷元/Kg60010电子级一氟甲烷元/Kg80011电子级二氟甲烷元/Kg150012电子级三氟甲烷元/Kg160013电子级八氟环丁烷元/Kg180014电子级四氟化碳元/Kg16015电子级砷烷万元/吨12584 3、产品方案及生产规模3.1产品方案确定原则1）充分考虑国家产业政策、行业发展规划、技术政策、产品结构符合国家清洁生产的要求；2）充分考虑项目产品的市场适应性，采用先进、适用的技术，提高项目的竞争能力；3）充分考虑项目产品技术的先进性，加大技术创新力度，提高产品的技术含量；4）充分考虑项目建设的可靠性，估计各类工程风险，积极采取有效的对策措施，减少风险；5）充分考虑项目产品的环境相容性，三废物质做到综合治理和达标排放，满足环境和可持续发展的要求；6）充分考虑项目收益的合理性，实事求是对该项目的功能性、盈利性等进行全面考虑。根据产品对国家产业政策符合性、市场需求情况预测、工艺技术含量和企业生产的规模效益（产品成本）、三废综合治理、建设投资等综合因素确定生产规模。3.2产品方案确定经过大量的市场调研和分析，建设项目包括15种产品，即电子级氨、电子级磷烷、电子级砷烷、电子级乙硼烷、电子混合气：以电子级磷烷、电子级乙硼烷、电子级硅烷（电子级氮/氢/氩/氦/二氧化碳平衡气）为主要组分配制的电子混合气，以电子级氟化物（以超纯氧为平衡气）为主要组分配制的电子混合气、标准混合气（食品级二氧化碳-环氧乙烷混合气）、电子级氯气、电子级一氧化二氮、电子级三氟化硼、电子级六氟乙烷、电子级一氟甲烷、电子级二氟甲烷、电子级三氟甲烷、电子级八氟环丁烷、电子级四氟化碳的生产装置、土建、公用工程及辅助工程等。3.3产品质量指标3.3.1电子级氨产品质量指标：执行标准GB/T14601《电子工业用气体氨》中光电子级标准。表3.1电子级氨产品质量指标项目光电子级氨（NH3）纯度（体积分数）/10-2≥99.9999484 氧/氩（O2/Ar）含量（体积分数）/10-6＜0.1氢（H2）含量（体积分数）/10-6＜0.1一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6＜0.05二氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6＜0.1烃（C1～C3）含量（体积分数）/10-6＜0.2总杂质含量（体积分数）/10-6≤0.63.3.2电子级磷烷产品质量指标：执行标准GB/T14851《电子工业用气体磷化氢》。表3.2电子级磷烷产品质量指标项目指标磷烷(PH3)含量（体积分数）/10-2≥99.9997砷化氢（AsH3）含量（体积分数）/10-6≤0.1氧+氩（O2+Ar）含量（体积分数）/10-6≤0.5氮（N2）含量（体积分数）/10-6≤1一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6≤0.5二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6≤0.5总烃（C1～C3）含量（体积分数）/10-6≤0.2水（H2O）含量（体积分数）/10-6≤1杂质总含量（体积分数）/10-6≤3金属总离子供需双方商定颗粒供需双方商定3.3.3电子级乙硼烷表3.3电子级乙硼烷产品质量指标项目指标乙硼烷(B2H6)含量（体积分数）/10-2≥99.99984 氮（N2）含量（体积分数）/10-6＜3氧+氩（O2+Ar）含量（体积分数）/10-6＜1一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6＜1二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6＜1甲烷（CH4）含量（体积分数）/10-6＜1水（H2O）含量（体积分数）/10-6＜3杂质总含量（体积分数）/10-6≤10金属总离子供需双方商定颗粒供需双方商定3.3.4标准混合气（食品级二氧化碳-环氧乙烷混合气）表3.4食品级二氧化碳-环氧乙烷混合气产品质量指标产品名称环氧乙烷浓度（%（w））二氧化碳浓度（%（w））允差（%）食品级二氧化碳环氧乙烷混合气-101090<±5食品级二氧化碳环氧乙烷混合气-202080<±5食品级二氧化碳环氧乙烷混合气-303070<±53.3.5电子混合气：以电子级磷烷、乙硼烷、硅烷（电子级氮/氢/氩/氦/二氧化碳平衡气）为主要组分配制的电子混合气，以电子级氟化物（以电子级氧为平衡气）为主要组分配制的电子混合气供需双方商定。3.3.6电子级氯气产品质量指标：执行标准GB/T18994《电子工业用气体高纯氯》。表3.5电子级氯产品质量指标项目指标氯（CL2）含量（体积分数）/10-2≥99.996氧（O2）含量（体积分数）/10-6≤484 氮（N2）含量（体积分数）/10-6≤20一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6≤1二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6≤10烃（C1～C3）含量（体积分数）/10-6≤1水（H2O）含量（体积分数）/10-6≤3注：1、C1～C3系指CH4、C2H2、C2H4、C2H62、高纯氯中金属和颗粒的要求及检验由供方与用户商定。3.3.7电子级一氧化二氮产品质量指标：GB/T14600《电子工业用气氧化亚氮》。表3.6电子级氧化亚氮产品质量指标项目指标氧化亚氮（N2O）含量（体积分数）/10-2≥99.9994二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6＜0.5一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6＜0.1烃C1～C5（以甲烷计）含量（体积分数）/10-6＜0.1氮（N2）含量（体积分数）/10-6＜3氧（O2）含量（体积分数）/10-6＜0.5水（H2O）含量（体积分数）/10-6＜1一氧化氮（NO）含量（体积分数）/10-6＜供需双方商定二氧化氮（NO2）含量（体积分数）/10-6＜供需双方商定杂质总含量含量（体积分数）/10-6＜供需双方商定3.3.8电子级三氟化硼产品质量指标：GB/T14603《电子工业用气三氟化硼》。表3.7电子级三氟化硼产品质量指标84 项目指标三氟化硼（BF3）纯度(摩尔分数)，10-2≥99.999氮（N2）含量(摩尔分数)，10-6＜2氧+氩(O2+Ar)含量（摩尔分数），10-6＜1二氧化碳（CO2）含量（摩尔分数），10-6＜1四氟化碳(CF4)含量（摩尔分数），10-6＜1四氟化硅（SiF4）含量（摩尔分数），10-6＜5总杂质含量（摩尔分数），10-6＜10颗粒供需双方商定3.3.9电子级六氟乙烷表3.8电子级六氟乙烷质量指标项目指标C2F6含量（摩尔分数），10-2≥99.999%N2含量（摩尔分数），10-6≤5O2含量（摩尔分数），10-6≤1CO含量（摩尔分数），10-6≤1CO2含量（摩尔分数），10-6≤1H2O含量（摩尔分数），10-6≤1THC含量（摩尔分数），10-6≤1OtherHalocarbon含量（摩尔分数），10-6≤103.3.10电子级一氟甲烷表3.9电子级一氟甲烷质量指标项目指标CH3F含量（摩尔分数），10-2≥99.9984 N2含量（摩尔分数），10-6≤80O2含量（摩尔分数），10-6≤20H2O含量（摩尔分数），10-6≤103.3.11电子级二氟甲烷表3.10电子级二氟甲烷质量指标项目指标CH2F2含量（摩尔分数），10-2≥99.99N2含量（摩尔分数），10-6≤8O2含量（摩尔分数），10-6≤2CO2含量（摩尔分数），10-6≤5H2O含量（摩尔分数），10-6≤5其它氟碳含量（摩尔分数），10-6≤50酸度(HF)含量（摩尔分数），10-6≤0.13.3.12电子级三氟甲烷表3.11电子级三氟甲烷质量指标项目指标CHF3含量（摩尔分数），10-2≥99.999%N2含量（摩尔分数），10-6≤5O2含量（摩尔分数），10-6≤2H2O含量（摩尔分数），10-6≤3酸度(HF)含量（摩尔分数），10-6≤0.13.3.13电子级四氟化碳表3.12电子级四氟化碳质量指标项目指标84 CF4含量（摩尔分数），10-2≥99.999O2+Ar含量（摩尔分数），10-6≤1N2含量（摩尔分数），10-6≤4CO2含量（摩尔分数），10-6≤1CO含量（摩尔分数），10-6≤1SF6含量（摩尔分数），10-6≤1其它氟碳含量（摩尔分数），10-6≤1H2O含量（摩尔分数），10-6≤1酸度(HF)含量（摩尔分数），10-6≤0.13.3.14电子级八氟环丁烷表3.13电子级八氟环丁烷质量指标项目指标C4F8含量（摩尔分数），10-2≥99.999N2,O2,CO2,CO含量（摩尔分数），10-6≤3O2含量（摩尔分数），10-6≤1其它氟碳含量（摩尔分数），10-6≤10H2O含量（摩尔分数），10-6≤2酸度(HF)含量（摩尔分数），10-6≤0.13.3.15电子级砷烷表3.14电子级砷烷质量指标项目指标AsH3含量（摩尔分数），10-2≥99.999O2+Ar含量（摩尔分数），10-6＜1N2含量（摩尔分数），10-6＜384 CO含量（摩尔分数），10-6＜1CO2含量（摩尔分数），10-6＜1CH4含量（摩尔分数），10-6＜1H2O含量（摩尔分数），10-6＜3PH3（摩尔分数），10-6＜0.5总杂质含量（摩尔分数），10-6≤10颗粒供需双方商定金属离子供需双方商定3.4生产规模3.4.1生产制度、年操作日生产装置年操作日按300天计算，其中电子级氨按每天24小时连续运行设计，其它品种按每天8小时白班计算。3.4.2生产规模3.4.2.1电子级氨装置设计能力为××吨／年，年生产日330天，24小时连续生产，平均×吨／日。3.4.2.2电子级磷烷装置设计能力为×吨/年。年生产日330天，白班间歇生产，平均×kg／日。3.4.2.3电子级乙硼烷装置设计能力为×吨／年，年生产日330天，白班间歇生产，平均×1kg／日。3.4.2.4电子混合气：以电子级磷烷、电子级乙硼烷、电子级硅烷（电子级氮/氢/氩/氦/二氧化碳平衡气）为主要组分配制的电子混合气，以电子级氟化物（以超纯氧为平衡气）为主要组分配制的电子混合气装置设计能力为×吨／年，年生产日330天，白班间歇生产，平均×吨／日。3.4.2.5标准混合气（食品级二氧化碳-环氧乙烷混合气）装置设计能力为×吨／年，年生产日330天，白班间歇生产，平均×吨／日。3.4.2.6电子级氯气装置设计能力为×吨／年，年生产日330天，白班间歇生产，平均×吨／日。84 3.4.2.7电子级一氧化二氮装置设计能力为×吨／年，年生产日330天，白班间歇生产，平均×吨／日。3.4.2.8电子级三氟化硼装置设计能力为×吨／年，年生产日330天，白班间歇生产，平均×kg／日。3.4.2.9电子级六氟乙烷装置设计能力为×吨／年，年生产日330天，白班间歇生产，平均×kg／日。3.4.2.10电子级一氟甲烷装置设计能力为×吨／年，年生产日330天，白班间歇生产，平均×kg／日。3.4.2.11电子级二氟甲烷装置设计能力为×吨／年，年生产日330天，白班间歇生产，平均×kg／日。3.4.2.12电子级三氟甲烷装置设计能力为×吨／年，年生产日330天，白班间歇生产，平均×kg／日。3.4.2.13电子级八氟环丁烷装置设计能力为×吨／年，年生产日330天，白班间歇生产，平均×kg／日。3.4.2.14电子级四氟化碳装置设计能力为×吨／年，年生产日330天，白班间歇生产，平均×kg／日。3.4.2.15电子级砷烷装置设计能力为×吨／年，年生产日330天，白班间歇生产，平均×kg／日。4、工艺技术方案4.1工艺技术方案的选择4.1.1电子级液氨工艺技术方案：采用工业氨为原料，经多级纯化分离脱除有害杂质组分，采用低温精馏技术脱除轻、重杂质组分，实现电子级液氨的工业化生产。4.1.2电子级磷烷电子级磷烷（PH3）合成工艺方案：采用金属磷化物与水反应制备磷烷气体。经多级吸附脱除重组份和低温精馏脱除轻组份制取电子级磷烷气体。反应原理如下：84 AlP+3H2O----Al（OH）3+PH3↑4.1.3电子级乙硼烷 电子级乙硼烷（B2H6）合成工艺方案：采用金属硼氢化物与碘反应制备硼烷气体。经多级吸附脱除重组份和低温精馏脱除轻组份制取电子级硼烷气体。反应原理如下：2NaBH4+I2------B2H6+2NaI+H24.1.4标准混合气（食品级二氧化碳-环氧乙烷混合气）按照《中华人民共和国标准化法》的规定，参照与生产该产品有关的标准和文献，制定了企业标准，作为组织生产该产品及相关工作的依据，以确保该产品的生产、包装、运输、使用安全和产品质量稳定。4.1.5电子混合气：以电子级磷烷、乙硼烷、硅烷（电子级氮/氢/氩/氦/二氧化碳平衡气）为主要组分配制的电子混合气，以电子级氟化物（以电子级氧为平衡气）为主要组分配制的电子混合气执行标准GB/T5274(等同采用ISO6142)。以磷烷、乙硼烷、硅烷为主的电子混合气体如：N2-PH3、N2-B2H6、N2-SiH4等。我国近三十年的研究成果。符合混合气技术规格，数据准确可靠。气瓶经过处理，气体质量可充分保证。××已向国内许多厂家提供此种电子混合气体，生产工艺成熟可靠。4.1.6电子级氯以工业液氯为原料经一级精馏塔脱除重组分水、三氯化氮等重组份，进入二级精馏塔脱除氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、烃等轻组份，实现电子级氯的工业化生产。国家标准GB/T18994《电子工业用气体高纯氯》。4.1.7电子级一氧化二氮电子级一氧化二氮生产线，产品广泛应用于半导体集成电路等领域。执行国家标准：GB/T14600《电子工业用气氧化亚氮》。4.1.8电子级三氟化硼电子级三氟化硼生产线，产品广泛应用于半导体集成电路等领域。该工艺适合电子级三氟化硼生产，没有环境污染问题。执行国家标准GB/T14603《电子工业用气三氟化硼》。84 4.1.9电子级六氟乙烷，电子级一氟甲烷，电子级二氟甲烷，电子级三氟甲烷，电子级四氟化碳，电子级八氟环丁烷该系列产品技术来源于××承担的军品配套“航天专用热工质”项目技术成果。该工艺适合电子级含氟气体的生产，没有环境污染问题。4.1.10电子级砷烷电子级砷烷（AsH3）合成工艺方案：采用金属砷化物与稀硫酸反应制备砷烷气体。经多级吸附脱除重组份和低温精馏脱除轻组份制取高纯砷烷气体。反应原理如下：Zn3As2+3H2SO4----3ZnSO4+2AsH3↑4.2工艺流程简述4.2.1电子级液氨工艺流程如下：工业NH3精馏塔2化学吸附精馏1物理吸附产品充装工艺流程说明：将纯度为99.8％工业液氨送入汽化器；汽化后的氨气进行初级吸附，脱除氨中的油，进入次级吸附，脱除氨中的大部分水份，含量控制在工业液氨中水份含量的1％以下；进入精馏塔1中脱除重组份，重组分在塔底排出至废氨罐，精馏塔顶氨气进入纯化器进行深度化学吸附，可使氨中金属离子降至ppt数量级，水份含量控制在0.1ppm以下；通过化学吸附后的氨气进入精馏塔2脱除轻组份，轻组分在塔顶冷凝器排放，使氨中H2、O2、N2、Ar、CH4、CO、CO2等降至0.1ppm以下，塔底液化的氨经分析检测合格后产品充装。4.2.2.电子级磷烷磷烷气体生产工艺流程如下：反应合成一级吸附二级吸附低温提纯干燥84 充装二次精馏冷冻收集工艺流程说明：先将磷化铝加入到反应器中然后滴加纯水，生成的磷烷气体进入一级吸附塔使磷烷气体脱去酸性杂质及二氧化碳；然后在二级吸附塔中除去大部分高沸点杂质；然后再通过干燥器进行进一步干燥，干燥后的磷烷气体进行低温精馏提纯，提纯后再进行二次精馏，完成上述工艺流程后的磷烷通过冷冻的方法进行收集，检测合格后产品充装。4.2.3电子级乙硼烷乙硼烷生产工艺流程如下：反应合成冷凝汽液分离低温提纯干燥充装二次精馏冷冻收集工艺流程说明：将金属硼氢化钠与碘反应生成乙硼烷气体，生成的乙硼烷气体通过冷凝的方法进行初步的分离，不凝气体排出去处理，冷凝后的乙硼烷气体浸入干燥器进行干燥除水，然后通入低温精馏的方法进行提纯，提纯后再进行二次精馏，完成上述工艺流程后的乙硼烷通过冷冻的方法进行收集，检测合格后产品充装。4.2.4标准混合气（食品级二氧化碳-环氧乙烷混合气）标准混合气生产工艺流程如下：食品级二氧化碳 出库入库检测配制 环氧乙烷  工艺流程说明：84 标准混合气体是用一种高纯气体作稀释气（又称平衡气或背景气），再添加一种或几种其它的高纯气体（又称组分气或掺杂气）配制而成。以二氧化碳环氧乙烷混合气为例，环氧乙烷作为稀释气，加入食品级二氧化碳组分气配制而成。所用的方法为重量法。称量法应用高载荷精密天平称量装入钢瓶中的各气体组分，根据各组分的质量比，计算出钢瓶中标准气的浓度。将配气钢瓶进行预处理，除去锈迹和污垢，并经水压试验合格，然后在烘箱中减压加热，冷却后除去水气，再用稀释气体冲洗。要求装入钢瓶中的各组分气体对钢瓶材料无腐蚀和吸附等作用。经过配制完毕的混合气经过分析检测，产品合格后入库和出库。4.2.5电子混合气：以电子级磷烷、电子级乙硼烷、电子级硅烷（电子级氮/氢/氩/氦/二氧化碳平衡气）为主要组分配制的电子混合气，以电子级氟化物（以超纯氧为平衡气）为主要组分配制的电子混合气高纯气A高纯气B高纯气C高纯气D配制检测入库出库  电子混合气配制流程和方法上述的标准混合气的配制流程和方法相似。只是以磷烷、乙硼烷、硅烷为稀释气，根据客户需要用称量法法添加一种或几种其它的高纯气体来配制不同的产品。配制完毕的电子混合气经过分析检测，产品合格后入库和出库。4.2.6电子级氯气电子级氯工艺流程如下：原料氯二级精馏三级吸附一级精馏初级纯化产品分装工艺流程说明：84 工业级别的液氯经过汽化后，进入一级净化器，除去氯中80%以上的水分及其它多组份卤化物，脱水后的氯气，进入一级精馏塔，提纯后的液氯进入三级吸附，三级吸附器中的吸附剂为经化学处理的多孔天然沸石，通过三级吸附进一步除去氯中痕量水及二氧化碳，最后进入-34℃左右的低温精馏塔除去易挥发性N2、O2、H2、CO、CH4、CO2等气体，全回流完成后，经超微过滤，分析检测合格后充瓶。4.2.7电子级一氧化二氮电子级一氧化二氮生产工艺流程如下：转化吸收原料一氧化二氮吸附脱氧低温提纯干燥超细过滤产品充装工艺流程说明：采用商品级医用N2O为原料，经过多孔物质同固体烧碱的混合物除去N2O中的NO2、H2O等其它活性杂质，然后通过由三种多孔吸附剂组成的复合净化器，除去其中的痕量杂质，然后进入-70℃左右的精馏塔以除去N2O中的N2、O2、CH4等杂质，经超微过滤，分析检测合格后充瓶。4.2.8电子级三氟化硼三氟化硼气体生产工艺流程如下：充装粗产品三氟化硼一级纯化二级纯化低温精馏工艺流程说明：采用工业级三氟化硼为原料，经过多孔物质同固体烧碱的混合物除去三氟化硼中的NO2、H2O等其它活性杂质，然后通过由三种吸附剂组成的复合净化器，除去其中的痕量杂质，然后进入-70℃左右的精馏塔以除去三氟化硼中的N2、O2、CH4等杂质。经过低温液化收集到钢瓶，得到三氟化硼气体产品。4.2.9电子级六氟乙烷，电子级一氟甲烷，电子级二氟甲烷，电子级三氟甲烷，电子级四氟化碳，电子级八氟环丁烷含氟气体生产工艺流程如下：充装粗产品含氟气体一级纯化二级纯化低温精馏84 工艺流程说明：采用工业级含氟气体为原料，经过一级吸附的多孔物质同固体烧碱的混合物除去含氟气体中的NO2、H2O等其它活性杂质，然后通过二级吸附由三种多孔吸附剂组成的复合净化器（可以根据不同的含氟气体进行选择不同的吸附剂），除去其中的痕量杂质，然后进入低温精馏塔以除去含氟气体中的N2、O2、CH4等杂质，经过低温液化收集到钢瓶，得到含氟气体产品。4.2.10电子级砷烷砷烷气体生产工艺流程如下：反应合成一级吸附二级吸附产品分装低温液化工艺流程说明：砷化锌和稀硫酸在反应器中反应，生成的砷烷气体进入一级吸附塔使砷烷气体脱去酸性杂质；然后在二级吸附塔中除去大部分高沸点杂质；最后使砷烷冷凝为液体除去不凝性杂质，检测合格后产品充装。4.3消耗定额4.3.1电子级氨消耗定额表4.1电子级氨消耗定额表项目单位消耗定额备注一原材料液氨t/t1.02二辅助材料吸附剂t/t0.005氮气t/t0.006H2Ot/t0.20用于氨吸收制氨水三燃料、动力消耗电kWh/t100024小时连续生产水t/t4.54.3.2电子级磷烷表4.2电子级磷烷消耗定额表84 项目单位消耗定额备注一直接材料磷化铝（85%）t/t2.1去离子水t/t1.70二辅助材料高纯氮气t/t0.5吸附剂t/t0.04氨水t/t0.01用于三废处理液氮t/t2.5三燃料、动力消耗水t/t1电kWh/t15000每天生产8小时4.3.3电子级乙硼烷表4.3电子级乙硼烷消耗定额表项目单位消耗定额备注一直接材料硼氢化钠t/t3.5碘t/t11.5二辅助材料高纯氮气t/t0.5吸附剂t/t0.04氨水t/t0.03用于三废处理液氮t/t3.0三燃料、动力消耗水t/t1电kWh/t15000每天生产8小时4.3.4标准混合气（食品级二氧化碳-环氧乙烷混合气）表4.4食品级二氧化碳-环氧乙烷混合气消耗定额表项目单位消耗定额备注84 一直接材料环氧乙烷t/t0.2食品级二氧化碳t/t0.8二辅助材料氮气t/t0.003三燃料、动力消耗水t/t0.3清洗钢瓶用水电kWh/t1504.3.5电子混合气：以电子级磷烷、电子级乙硼烷、电子级硅烷（电子级氮/氢/氩/氦/二氧化碳平衡气）为主要组分配制的电子混合气，以电子级氟化物（以超纯氧为平衡气）为主要组分配制的电子混合气根据用户对混合气不同组分，不同浓度要求配制。以氮-1%硅烷（40L气瓶）混合气为例：表4.5氮-1%硅烷电子混合气项目单位消耗定额备注一直接材料氮kg/瓶4.3.95硅烷kg/瓶0.052二燃料、动力消耗电kWh/瓶0.54.3.6电子级氯气表4.6电子级氯消耗定额表项目单位消耗定额备注一直接材料工业液氯t/t1.02二辅助材料吸附剂t/t0.005高纯氮气t/t0.0584 氨水t/t0.023用于三废处理三燃料、动力消耗水t/t0.4电kWh/t1500每天生产8小时4.3.7电子级一氧化二氮表4.7电子级一氧化二氮消耗定额表项目单位消耗定额备注一直接材料医用一氧化二氮t/t1.02二辅助材料高纯氮气t/t0.08液氮t/t1.5吸附剂t/t0.003三燃料、动力消耗水t/t1电kW.h/t1200每天生产8小时4.3.8电子级三氟化硼表4.8电子级三氟化硼消耗定额表项目单位消耗定额备注一直接材料三氟化硼t/t1.02二辅助材料高纯氮气t/t0.08液氮t/t1.5吸附剂t/t0.003氨水t/t0.005用于三废处理三燃料、动力消耗水t/t184 电kW.h/t15000每天生产8小时4.3.9电子级六氟乙烷表4.9电子级六氟乙烷消耗定额表项目单位消耗定额备注一直接材料六氟乙烷t/t1.02二辅助材料高纯氮气t/t0.08液氮t/t1.5吸附剂t/t0.003三燃料、动力消耗水t/t1电kW.h/t1500每天生产8小时电子级一氟甲烷，电子级二氟甲烷，电子级三氟甲烷，电子级四氟化碳，电子级八氟环丁烷和电子级六氟乙烷共用同一套装置（即为六氟乙烷装置）。4.3.10电子级砷烷表4.10电子级砷烷消耗定额表项目单位消耗定额备注一直接材料砷化锌t/t2.22稀硫酸t/t4.7340%二辅助材料高纯氮气t/t0.5吸附剂t/t0.04氨水t/t0.03用于三废处理液氮t/t3.0三燃料、动力消耗水t/t184 电kWh/t15000每天生产8小时4.3自控技术方案4.3.1重点监管的危险化工工艺的自控水平和主要控制方案本项目工艺装置生产过程要求自动控制能满足集中控制和检测的需要，所选现场仪表能适应工艺介质的需要，并保证装置长周期安全、稳定运行。根据国家安全监管总局公布的《首批重点监管的危险化工工艺目录的通知》和《第二批重点监管危险化工工艺目录和调整首批重点监管危险化工工艺中部分典型工艺的通知》对照本项目的生产工艺，所有产品的生产工艺均不在重点监管的危险化工工艺目录之内。4.3.2重点监管的危险化学品的安全措施和应急处置原则本项目涉及的危险化学品主要有液氨、氢气、磷烷、砷烷、乙硼烷、二氧化碳、环氧乙烷、硅烷、三氟化硼、六氟乙烷、一氟甲烷、二氟甲烷、三氟甲烷、四氟化碳、液氯。根据《国家安全监管总局关于公布首批重点监管的危险化学品名录的通知》（安监总管三〔2011〕95号）和《国家安全监管总局关于公布第二批重点监管危险化学品名录的通知》（安监总管三〔2013〕12号）进行辨识，液氨、氢气、环氧乙烷、液氯属于重点监管危险化学品。属于重点监管危险化学品的安全措施和事故应急处置原则因严格安照“国家安全管总局关于公布首批重点监管的危险化学品名录的通知安监总管三〔2011〕95号”和“第二批重点监管危险化学品名录的通知安监总管三〔2013〕12号”中所要求的“首批重点监管的危险化学品安全措施和事故应急处置原则”和“第二批重点监管的危险化学品安全措施和应急处置原则”进行。4.3.3仪表选择概述本设计依据工艺装置的规模、流程特点、操作要求，根据中试生产的成功经验，并考虑国内外新型仪表的发展和实际应用，设置完善的检测、自动控制系统及必要的信号联锁保护系统，确保生产过程安全可靠，同时尽量提高自动化程度，节约人力资本，减轻劳动强度。本工程自控水平依下列原则确定；a.对工艺过程影响较大，需随时监控的参数设调节；b.对需要经常了解其变化趋势的参数设记录；84 c.对工艺过程影响不大，但需经常监视的参数设指示；d.对可能影响生产及安全的参数设报警或报警及连锁，并进行报警打印；e.对要求计量或经济核算的参数设积算；f.对生产过程设班报、日报及月报等报表打印；g.对生产过程中机泵等运转设备设状态显示；4.3.4控制系统的选择由于产品规模相对较小，间歇生产过程较多，控制系统以常规仪表、PLC控制系统控制为主。4.3.5仪表选型仪表选型的总原则：选用适用、可靠、先进的仪表，确保装置的安全可靠运行。变送器、执行器采用近几年国内使用成熟的引进系列产品。仪表信号制式：电动型4～20mADC气动型20～100kPa测量单位：液体流量：kg/h、t/hL/h、m3/h气体流量：Nm3/h(0℃，1atm为标准状态)蒸汽流量：kg/h、t/h液位：%、mm，m（用于罐区液位计）压力及差压：kPa、MPa真空压力：－(k)Pa，(k)PaA温度：℃密度：kg/m3、g/cm3电导率：ms/cm成份分析：%、P.P.M粘度：CP精度等级：一般为1.0、1.5；用于计量为0.2、0.5；变送器为0.075。防护等级：一般为IP65；特殊为IP68。由于生产装置中存在有腐蚀和易结晶的工艺介质，故对一次检测元件和调节阀接触介质部件的材质作了相应考虑。仪表选型具体如下：1)温度测量84 集中测量时，采用国际统一标准的热电阻或热电偶；就地测量时选用万向型双金属温度计。集中显示的温度仪表其一次元件选用符合IEC标准的热电阻。铠装热电阻，其信号送至控制柜指示、调节、记录、报警，热电阻的保护套管材料根据介质腐蚀性、耐磨型选择。1)压力测量集中测量时，采用压力变送器；就地测量时，根据不同的工艺介质，分别采用普通压力表、隔膜压力表、防腐压力表等。集中显示压力仪表选用智能压力、差压变送器。2)流量测量根据工艺操作及工况的不同，分别采用涡街流量计、电远传转子流量计、电磁流量计、阿钮巴流量计、标准节流装置等。3)液位测量对一般性工艺介质，液位仪表选用差压变送器或静压式液位计、双法兰差压变送器、射频导纳料位计等。对腐蚀性和易结晶介质加设吹扫装置。罐区选用雷达式液位计。就地液位仪表采用玻璃板液位计或磁浮子液位计。4)执行机构对于易燃易爆介质工艺执行机构采用气动执行器，并附隔爆型电－气阀门定位器。根据不同介质和工况，分别选用套筒、单座、双座等调节阀，并对阀门内件材质作了相应考虑。5)盘装仪表对于采用常规仪表控制的工序，显示仪表采用数字显示仪表，调节器采用单回路调节器，记录仪表采用无纸记录仪。6)仪表供电电源等级：～220VAC±10%50HZ±120kVA7)仪表隔离液、伴热、保温本系统的仪表隔离液为硅油，对于测量介质为蒸汽或水的仪表，其测量引线需保温伴热。4.4主要设备的选择4.4.1设备选择原则84 1、满足生产需要的原则。根据产品的生产工艺要求，如产量、压力、温度、腐蚀等各方面的综合因素，满足工艺和设备条件的要求。2、选材：在设备材料方面的选用，本着即经济又适用，且又能满足生产的需要的原则，要综合考虑各环节的工艺条件，本着即环保又经济，既实用又节约的原则，能采用碳钢的就不用有色金属（如钛材）。在可能的情况下采用塑料来代替金属。确保各种设备具有良好腐蚀性、耐温性、强度及负压状态下有着稳定工作性能。3、先进性：在选用设备时，除了要具备一定的强度和耐腐蚀性条件外，还要注意选用先进的生产设备。先进的设备不仅代表了工业生产的文明性，而且还能提高产品的质量。多种功能集于一身的设备不仅能提高产量，还能降低消耗，大大减少了工人的劳动强度。4、填平补齐、均衡配套的原则。根据产品的工艺路线和工艺要求，均衡配套选购设备。5、设备交货期应满足工程进度的需要，选择信誉良好的供应厂商。6、设备生产厂家售后服务好，安装速度及时，可靠，代培训人员，并提供备品备件。4.4.2项目主要设备表4.4.2.1电子级氨装置主要工艺设备表4.10电子级氨装置主要工艺设备表序号设备名称规格及型号单位数量材料备注1脱油塔GMY1000-1/A/B台3042吸附塔AGMY25-400P=15kW台3043吸附塔BGMY25-600P=15kW台3044吸附塔CGMY25-300P=15kW台3045脱重塔GMY100-800P=65kW台3046脱轻塔GMY150-600P=65kW台3047液氨贮罐GMY5-10V=50m3台3048充装泵FD16-600P=5.5kW台3049产品罐GMY500-800V=930L台30410冰机机组YF610C制冷量150kW电机功率P=100kW台11水泵P320-12P=5kW套30484 12数显磅秤2000公斤台13氨水吸收系统HGM-XA-6FP=4.5kW台PVC14空气压缩机W-1.0/7P=4kW台15仪表控制柜600X800X1500台16微量水分析仪TMA-210-P-ZB0.1PPm台17气相色谱仪Agilent7890A台18色谱-质谱联用仪AgilentGC6890-59571MS台4.4.2.2电子级磷烷表4.11电子级磷烷装置主要工艺设备表序号设备名称规格型号单位数量材料备注1反应系统HGM-PF-1套不锈钢2一级纯化器HGM5-S1P=3kW台3163二级纯化器HGM5-S2P=3kW台3164冷凝器100L台3165真空泵2X-8P=1.5kW台6吸收系统HGM-PXS-1P=2.5kW套PVC7数显台秤200kg台8电容式水分仪DMT-242P台9微氧分析仪DF-310E0.1PPm台10磷烷报警器DAP32-12LC台4.4.2.3电子级硼烷表4.12电子级硼烷装置主要工艺设备表序号设备名称规格型号单位数量材料备注1反应系统HGM-BFY-1套不锈钢2一级纯化器HGM5-S3P=3kW台3163二级纯化器HGM5-S4P=3kW台3164冷凝器100L台84 5真空泵2X-8P=1.5kW台6吸收系统HGM-BXS-1P=2.5kW套PVC7数显台秤200kg台8电容式水分仪DMT-242P台9微氧分析仪DF-310E0.1PPm台10磷烷报警器DAP32-12LC台4.4.2.4标准混合气（食品级二氧化碳-环氧乙烷混合气）表4.13食品级二氧化碳-环氧乙烷混合气装置主要工艺设备表序号设备名称规格型号单位数量材质备注1环氧乙烷储罐30m3台不锈钢2二氧化碳储罐20m3台碳钢3真空泵2X--8P=1.5kW台4真空泵2X--15P=2.5kW台5二氧化碳泵BPCO2-600-1200/10P=6kW台6配气装置HGM-PQ-4套不锈钢8色谱分析仪岛津-14C台4.4.2.5电子混合气：以电子级磷烷、电子级乙硼烷、电子级硅烷（电子级氮/氢/氩/氦/二氧化碳平衡气）为主要组分配制的电子混合气，以电子级氟化物（以超纯氧为平衡气）为主要组分配制的电子混合气表4.14电子混合气装置主要工艺设备表84 序号设备名称规格型号单位数量材质备注1液氮储罐20m3台不锈钢2液氧储罐10m3台不锈钢3液氩储罐10m3台不锈钢4配气装置HGM-PQ-4套不锈钢5真空泵2X--8P=1.5kW台6真空泵2X--15P=2.5kW台7色谱分析仪岛津-14C台4.4.2.6电子级氯装置主要工艺设备表表4.15电子级氯装置主要工艺设备表序号设备名称规格型号单位数量材质备注1脱重塔Φ150×7500P=10kW台哈氏合金2脱轻塔Φ200×8000P=10kW台哈氏合金3氮气换热器E1304-1台15GrMOR4一级吸附塔T1304-1-1台15GrMOR5二级吸附塔T1304-1-2台15GrMOR6氮气加热器BGY25-380/25P=25kW台3047隔膜计量泵J×BJ20P=5kW台哈氏合金8制冷机组YSLGF50MP=20kW9空压机排气压力0.7MPaP=2.5kW台10电子称1000kg/500kg台11尾气吸收系统HGM-CLXS-1P=3kW套PVC4.4.2.7电子级一氧化二氮表4.16电子级一氧化二氮主要工艺设备表序号设备名称规格及型号单位数量材料备注1吸附纯化系统DN273-100LP=96kW套不锈钢2真空泵2X-15P=2.5kW台3数显磅秤200kg、600KG台84 4尾气吸收系统HGM-W-13P=1.5kW套5电子天平SartorinsBT42026台6露点仪SH2008台7氮氧化物分析仪EC9841-NOY台8水红外分析仪WSJBQ005台9分光光度计721台4.4.2.8电子级三氟化硼表4.17电子级三氟化硼装置主要工艺设备表序号设备名称规格型号单位数量材质备注1吸附器AHGM12-1P=1.5kW台3162吸附器BHGM12-2P=1.5kW台3163低温冷凝器100L台3044真空泵2X-8P=1.1kW台5电子秤GFD-3000台6尾气吸收系统HGM-FXS-1P=1kW套PVC4.4.2.9电子级六氟乙烷，电子级一氟甲烷，电子级二氟甲烷，电子级三氟甲烷，电子级四氟化碳，电子级八氟环丁烷表4.18电子级六氟乙烷装置主要工艺设备表序号设备名称规格型号单位数量材质备注1吸附器AHGM12-1P=1.5kW台3162吸附器BHGM12-2P=1.5kW台3163低温冷凝器100L台3044真空泵2X-8P=1.1kW台5电子秤GFD-3000台6尾气吸收系统HGM-FXS-1P=1kW套PVC电子级一氟甲烷，电子级二氟甲烷，电子级三氟甲烷，电子级四氟化碳，电子级八氟环丁烷的生产过程和六氟乙烷的类似，可共用一套系统，生产设备见上表电子级六氟乙烷的主要工艺设备表。84 4.4.2.10电子级砷烷表4.19电子级砷烷装置主要工艺设备表序号设备名称规格型号单位数量材料备注1反应系统HGM-BFY-1套不锈钢2一级纯化器HGM5-S3P=3kW台3163二级纯化器HGM5-S4P=3kW台3164冷凝器100L台5真空泵2X-8P=1.5kW台6吸收系统HGM-BXS-1P=2.5kW套PVC7数显台秤200kg台8电容式水分仪DMT-242P台9微氧分析仪DF-310E0.1PPm台10砷烷报警器DAP32-12LC台4.5项目清洁生产及循环化措施××对本项目的清洁生产方面极为重视，在工艺路线、设备选型等方面均采取了一定的清洁生产措施。该项目的路线很短，没有任何溶剂；不采用真空系统；并且不产生工艺污水。整个生产装置采用模块集成化、管道化、自动化；增加尾气处理设施。4.6标准化4.6.1管道设计依据《工业金属管道设计规范》GB50316-2000,2008版)《石油化工有毒、可燃介质管道工程施工及验收规范》SH3501-2011《压力管道规范工业管道》GB/T20801-2006《压力管道安全技术监察规程—工业管道》TSGD0001-20094.6.2管道设计说明管道的选材根据物料性质及其腐蚀性决定管道的材质，如不带有酸性腐蚀性的物料管道材质选用不锈钢无缝管（GB/T14976-2012），循环水、低压蒸气等辅助管道材质可采用20#钢（GB/T8163-2008）。84 5、原材料供应及动力消耗5.1原辅材料供应5.1.1主要原料的品种、规格、年需用量、来源及运输条件本项目产品的主要原材料需求量如表5.1。表5.1原材料年消耗表序号名称及规格单位数量备注1工业液氨t2工业液氯t3医用一氧化二氮t4硼氢化钠t5磷化铝t6碘t8液氮t9液氩t10氦气Nm311液氧t12氢气Nm313食品级二氧化碳t14环氧乙烷t15三氟化硼t16六氟乙烷t17一氟甲烷t18二氟甲烷t19三氟甲烷t20八氟环丁烷t21四氟化碳t22硅烷t23砷化锌t24稀硫酸t本项目主要原料工业原料，来自××内：××集团、××公司。84 5.2辅助材料供应仪表及除尘设备用压缩空气本装置除尘设备用气规格要求为压力≥0.6MPa，常温、干燥，不含杂质。用量＜5Nm3/min。可由各装置工艺单元设小型空压机供给。本装置仪表用气规格要求为压力≥0.6MPa，常温、干燥，不含杂质。用量＜5Nm3/min，因用气量不大，故不设集中空压站，由液氮贮存装置设氮气气源供给。5.3水、电和其他动力供应表5.2公用工程消耗一览表序号公用工程名称单位消耗说明小时消耗年消耗1电万度2自来水吨84 6.建厂条件和厂址选择6.1建厂条件6.1.1建厂地点的自然条件6.1.1.1厂址地理位置××是经××政府批准，××园区，。6.1.1.2地质地貌根据附近企业的地质报告资料显示：本项目场地内无滑坡、岩溶、危溶、采空区等不良工程地质现象，未发现暗河等不利于工程建设的埋藏物，场地稳定性较好，适宜建设本工程；场地震峰值加速度值<0.05g，地震动反应谱特征周期为0.35S（即地震烈度小于Ⅶ度），属于抗震有利地段；场地地下水、土对钢筋混凝土无腐蚀性。6.1.1.3气候条件（1）气象××属亚热带季风气候区，有四级分明，冬夏长春秋短，阳光充足，降雨丰沛、季节分配不均的地带性特征。主要特征如下：多年平均气温17.4℃日极端最高气温40.5℃日极端最低气温-10.4℃多年平均降水量1691.6mm最高年降水量2464.5mm最低年降水量1104.2mm多年平均相对湿度79%多年平均蒸发量1405.1mm多年平均风速2.31m/s全年主导风向东北偏东风(19.82%)6.1.1.4水文特征××河流大部分属于××水系，84 ××支流，源于××，主河道长××Km，流域面积××Km2。××横贯××，自××港口起，经××出境，境内流域面积××Km2，主河道长××Km，河道比降0.047%。6.1.2建厂地点的社会经济条件××为××省省辖市，位于××，地处××，南接福建南平，西邻××，北与××、。全市总面积××平方公里，人口××万，其中市中心人口××万人。近年来，××人民生活质量显著提高。人民群众居住、交通、文化、卫生等方面条件有较大改善。城镇居民人均可支配收入年均增长6%，农民人均纯收入年均增长××%。初步形成比较完善的国民教育体系、科技创新体系、卫生医疗体系和社会保障体系，普及从学前三年到高中段的十五年基础教育，R&D经费占GDP比重达到××%。城镇登记失业率控制在××%以内，人口自然增长率控制在×׉以内。6.1.3外部交通运输状况（1）公路运输：××高速公路贯通，××至××公路交通圈。公路交通十分方便。（2）港口：本项目距××港约××Km。（3）铁路运输：××。6.1.4公用工程条件园区内供水、治污设施齐全，供热、排污及基本化工原料××，按市场化运作方式就近取材，是企业家理想的创业之地。6.2厂址选择6.2.1厂址选择的原则、依据及推荐方案意见（1）项目拟建地交通运输条件良好，便于原料及产品的运输；（2）工业园区内水、电、汽、污水处理、固废处理等公用工程配套齐全，有利于节约投资，降低成本；（3）项目拟建地环境质量良好，能满足环境保护要求；综上所述，该厂址建厂条件优越，投资费用小，为理想的拟建厂址。84 7、总图运输、储运和土建7.1总图运输7.1.1总平面布置原则根据《建筑设计防火规范》GB50016-2006等相关规范，进行工厂总体布置，在符合工业规划区多项指标的同时力求流程合理，还应符合有利环境净化，避免交叉污染等要求，同时使整个项目具有良好的建筑立面景观设计效果，具体原则如下：（1）在符合生产流程操作要求和使用功能的前提下布置建筑物、构筑物等设施。（2）按功能分区合理地确定通道宽度，根据下列因素确定：通道两侧建筑物构筑物及露天设施对防火安全与卫生间距的要求；各种工程管线的布置要求；绿化布置的要求；施工安装与检修的要求；竖向设计的要求。（3）厂区功能分区及建筑物构筑物的外形宜规整，功能分区内各项设施的布置应紧凑合理（4）总平面布置应充分利用地形地势工程地质及水文地质条件合理地布置建筑物构筑物和有关设施并应减少土石方工程量和基础工程费用。（5）总平面布置应结合当地气象条件使建筑物具有良好的朝向采光和自然通风条件高温热加工有特殊要求和人员较多的建筑物应避免西晒。（6）总平面布置应防止有害气体、烟、雾、粉尘强烈振动和高噪声对周围环境的危害。（7）总平面布置应合理地组织货流和人流。（8）总平面布置应使建筑群体的平面布置与空间景观相协调并应结合城镇规划及厂区绿化提高环境质量创造良好的生产条件和整洁的工作环境。7.1.2设计依据总平面布置执行现行的国家和行业有关规范和标准，主要有：(1)《建筑设计防火规范》（GB50016-2006）(2)《化工企业总图运输设计规范》（GB50489-2009）(3)《工业企业总平面设计规范》（GB50187-2012）(4)《氧气站设计规范》(GB50030-91)(5)《深度冷冻法生产氧气及相关气体安全技术规程》（GB16912-2008）(6)电子级气体规范可参照电子工业用气体相关规范84 7.1.3总平面布置方案根据厂区拟建的工程项目和需配套的辅助工程以及总平面布置原则和生产工艺特点，结合厂内外各种自然条件，经与厂方多方案讨论和比较，确定以下总平面布置方案。本项目总平面布置分为四个部分：（1）厂前区：××综合办公楼一幢。（2）主生产区：主要集中在××。（3）辅助生产区：分布在厂区的东北面，设置了高配房、消防泵房及消防水池、电子级气体检验室设置在综合楼内。（4）仓储：在厂区的××面设置了罐区、、甲类、丙类仓库。7.1.4总图主要经济技术指标表7-1总图主要经济技术指标序号名称单位数值备注1征地面积平方米2围墙内面积平方米3建筑物占地面积平方米4构建物占地面积平方米5建筑面积平方米6计算容积率面积平方米7建筑密度%8容积率　9绿地率%10非生产性用房占地面积平方米11非生产性用房占地面积占实际用地面积的百分比%7.1.5竖向布置竖向布置原则：由于本项目建设在××内，厂区外的公用配套设施已齐全；所以本工程竖向规划主要需满足开发区对场地标高的要求，另外需考虑场地排水畅通，建构筑物基础埋深和管线敷设合理，厂内外道路衔接合理，土方工程量尽可能小的原则进行布置。由于厂区自然地面标高在××米至××米之间变化,平均标高约为××米，外部道路的控制标高约为××米。综合考虑厂址所在地块周围道路的标高及内河洪水位情况，场地标高拟定为××米，经估算全厂填方量约为××万立方米，所缺土方可用园区附近的石场宕渣来回填。竖向布置为平坡式，场地采用明沟排水系统。84 7.1.6工厂防护与绿化场地的南、北侧采用通透式，设2.0m高钢栏杆围墙；东、西侧设2.0m高实体围墙。厂区设置两个出入口，人流入口朝东，物流入口朝北（连接一号路）。绿化能调节气候、提高湿度、减弱噪音、滞留尘埃，美化环境，改善劳动条件。厂区绿化是改善厂区小气候的重要手段。绿化的重点为道路两旁、建构筑物周围、围墙内侧以及辅助建筑物周围。以达到绿化、美化的效果。使厂区形成点、线、面相结合的绿化空间系统，有一个清新、优雅的绿化环境。7.2储运(1)全年运输量：总运输量：5910.99t/a（其中：运入：2970.35t/a，运出：2940.64t/a）表7.2主要原辅材料储运情况序号名称储存场所储存方式包装规格/数量最大储存量/t年用量1工业液氨罐区卧式贮罐2工业液氯甲类仓库钢瓶3医用一氧化二氮甲类仓库钢瓶4磷化铝甲类仓库防潮桶5硼氢化钠甲类仓库防潮桶6碘甲类仓库防潮桶7四氟化碳仓库钢瓶8液氮室外设备区贮罐9液氩室外设备区贮罐10氦气长管拖车11液氧室外设备区贮罐12氢气长管拖车13食品级二氧化碳室外设备区贮罐14环氧乙烷罐区卧式贮罐84 15三氟化硼仓库钢瓶16六氟乙烷仓库钢瓶17一氟甲烷仓库钢瓶18二氟甲烷仓库钢瓶19三氟甲烷仓库钢瓶20八氟环丁烷仓库钢瓶21硅烷甲类仓库钢瓶23砷化锌甲类仓库防潮桶24稀硫酸仓库防潮桶表7.3产品储运情况序号产品名称储存场所储存方式包装规格/数量最大储存量/t1电子级液氨甲类仓库钢瓶2电子级磷烷甲类仓库钢瓶3标准混合气（食品级二氧化碳-环氧乙烷混合气）甲类仓库钢瓶4电子混合气：以电子级磷烷、电子级乙硼烷、电子级硅烷（电子级氮/氢/氩/氦/二氧化碳平衡气）为主要组分配制的电子混合气，以电子级氟化物（以超纯氧为平衡气）为主要组分配制的电子混合气甲类仓库钢瓶5电子级氯气甲类仓库钢瓶6电子级一氧化二氮甲类仓库钢瓶7电子级三氟化硼甲类仓库钢瓶8电子级六氟乙烷甲类仓库钢瓶9电子级一氟甲烷甲类仓库钢瓶84 10电子级二氟甲烷甲类仓库钢瓶11电子级三氟甲烷甲类仓库钢瓶12电子级四氟化碳仓库钢瓶13电子级八氟环丁烷仓库钢瓶14砷烷甲类仓库钢瓶备注：一氧化二氮是助燃物物质不能与其它可燃物质混放。(2)厂内、外运输方式原料的运输：主要采用社会运输力量，以汽车、槽罐车，公路运输。厂内物品运输：厂内运输采用管道或电瓶车、叉车。产品外运：根据销售地的不同分别以公路运输或铁路、海运、空运方式完成。(3)道路厂区内道路平面为环形周边式，城市型，混凝土路面，道路宽度6m、5m、4m三种，转弯半径为9m；道路结构型式与××道路相同。7.3土建7.3.1设计依据7.3.1.1自然条件1）基本风压：0.40KN/m22）基本雪压：0.60KN/m23）抗震设防烈度：属于6度（据“中国地震基本烈度划分”资料）7.3.1.2地质情况××位于××地西段，地貌类型依次为河谷、平原、丘陵、低山和中山。区域内根据地层覆盖物大体分为基岩裸露区、××二级阶地区、××一级阶地区和石梁溪阶地区。××冲击物组成，其上部由粘性或砂性土、褐色粘质粉土、粉质粘土、局部泥质粉土组成，层厚1～3m，下部由砂卵石组成，层厚3～6m，上下部之间常有一层层厚0.5～3m的透镜体状砂层，有时缺失。××一级阶地区主要分布在××和××84 江沿岸地区，由第四纪全新统河流冲击层组成，其上部为粘质、泥质粉土组成，层厚2～7m，下部由砂卵石组成，层厚4～6m，下伏白垦系紫红色砂岩、沙砾岩。地区地质属河套沉积层，地基承载力可达15～20t/m2。地震烈度≤6度。建设项目厂址所在地区的地形呈自然缓降趋势，东南高西北低，南北比降0.16～0.22%，东西比降为0.06～0.15%，由××公司向南较远地区逐渐为岗地、低丘、高丘和山地的阶梯地貌层次，山的最大高差为80m左右。而近××地区则以丘陵为主，属农林过渡区，相对高差低于30m。7.3.1.3本工程采用的国家及部颁规范、规程1）《建筑结构荷载规范》GB50009-2012；2）《建筑抗震设计规范》GB50011-2010；3）《建筑地基基础设计规范》GB50007-2011；4）《混凝土结构设计规范》GB50010-2010；5）《钢结构设计规范》GB50017-2011；6）《砌体结构设计规范》GB50003-2011；7）《给水排水工程结构设计规范》GB50069-2002；8）《冷轧带肋钢筋混凝土结构技术规程》JGJ95-2011；9）《钢筋焊接网混凝土结构技术规程》JGJ114-2003；10）《建筑设计防火规范》GB50016-2006。7.3.2建筑设计方案7.3.2.1设计原则工程秉着实用经济美观的建设方针并遵照国家有关规范进行设计。平面设计以满足工艺生产要求为前提，力求生产流程布置先进合理，尽量做到人货分流，功能分区明确。立面设计充分体现药业建筑特点，力求简洁大方。建筑配色以淡雅为主，局部涂色带点缀，使建筑具有时代气息，体现当代工业企业生产环境。7.3.2.2主要建、构筑物：本设计对厂房需要改进或者新建，车间平面布置服从工艺要求。本项目主要涉及建、构筑物见建、构筑物一览表。表7-8本项目建、构筑物一览表主项名称计算容积率结构备84 序号火灾危险性类别耐火等级占地面积(m2)建筑面积(m2)面积(m2)层数建构筑物高度(m)形式注1生产车间甲二框架层高超8米 2中试车间1甲二框架层高超8米 3中试车间2丙二框架层高超8米 4高配丙一框架5电子级氨车间 乙二 框架层高超8米 6仓库丙二框架 7综合楼-二框架 8供气站甲二框架层高超8米9甲类仓库甲二框架10罐区甲--11埋地事故应急池---12新空瓶存放区---13消防水池---14消防泵房戊二框架15门卫--框架16室外设备区乙--17泵棚甲--18管架---19地磅------合计7.3.2.4主要装修标准（1）楼地面84 生产车间（甲类）、中试车间1（甲类）、甲类仓库、供气站(甲类)等甲类生产区地面为砼配筋不发火水泥砂浆面层地坪，楼面为不发火水泥砂浆楼面。其余生产区为砼配筋水泥砂浆地坪，控制室设抗静电架空地板，其他均为普通水泥砂浆地面。甲类仓库、供气站等储存物品类别为甲类，地面为砼配筋不发火水泥砂浆地坪。仓库储存物品类别为丙类，地面为砼配筋水泥砂浆地坪。综合楼：卫生间、开水间、餐厅采用防滑地砖面层，其他办公用房、走廊、门厅、楼梯休息室均为抛光玻化砖地面。储物间为水泥砂浆楼面。（2）墙体：本工程建筑物室内地坪以下墙体采用MU10机制红砖M7.5水泥砂浆砌筑，室内地坪以上墙体采用Mu7.5多孔粘土砖M5混合砂浆砌筑。其中轻质隔墙采用轻钢龙骨纸面石膏板隔墙。（3）门窗：本工程窗普遍为白色塑钢窗及通风百页窗，除综合楼门厅大门为全玻无框门，其它外门普遍为铝合金卷帘门、塑钢门或镶板门，甲类车间防火墙上的门为甲级防火门。（4）平顶：不设吊顶的房间普遍为白色涂料面层。设吊顶的房间如办公室、卫生间、走廊等均采用PVC板吊顶。（5）屋面：现浇钢筋砼屋面板结构找坡，高分子防水卷材，EPS屋顶隔热砖。（6）外墙：除综合楼外墙采用浅色面砖贴面外，其它建筑单体墙普遍采用浅色外墙防水涂料。（7）内墙：内墙普遍采用耐擦洗白色内墙涂料；厕所、浴室等需大量用水的房间采用白色瓷砖墙面至吊顶底。8、公用工程方案和辅助生产设施8.1公用工程方案8.1.1给水排水8.1.1.1给水排水概述84 8.1.1.1.1设计依据1）《建筑给排水设计规范》（GB50015-2003，2009年版）2）《室外给水设计规范》（GB50013-2006）3）《室外排水设计规范》（GB50014-2006，2011年版）4）《建筑设计防火规范》（GB50016-2006）5）《建筑给水排水及采暖工程施工质量验收规范》（GB50242-2002）6）《工业循环冷却水处理设计规范》（GB50050-2007）7）全国通用给排水设计图集和有关标准图集。8.1.1.1.2建厂地区自然条件和原始资料详见第6章“建厂条件和厂址方案”篇章。8.1.1.1.3设计原则和设计特点，工厂生产对给排水的要求：(1)给水系统按分质、分压的原则进行系统的划分，全厂给水系统分为自来水直供水系统和消防给水系统。(2)排水系统按清污分流的原则进行系统的划分，全厂排水系统分为生活污水系统和雨水系统。(3)尽可能节约水资源。(4)采用高效、节能的系统及设备；做到技术先进可靠，经济合理。8.1.1.1.4用水量和排水量A）用水量本工程主要用水量为循环用水、生活用水和消防用水，按工艺专业提供的情况中，具体用水量见下表：表8-1年产××建设项目生产生活用水量序号名称用水量水压(MPa)给水系统备注Q（t/h）Q（t/d）1循环补充水0.4自来水蒸发2生活用水0.4自来水3洗地面水0.4自来水小计注：生活用水量以300L/p·d计算，排污系数按85%计算，清洗地面水按2L/m2计。84 拟建工程建成投产后，新鲜水用量为34.2m3/d。其中循环补充水量约为4.8m3/d，生活用水约为15m3/d，洗地面水约为14.4m3/d。B）排水量表8-2年产××建设项目生产生活用水量序号名称排水量水压(MPa)排水情况备注Q（t/h）Q（t/d）1生活污水常压污水2洗地面水常压污水小计注：生活用水量以300L/p·d计算，排污系数按85%计算，清洗地面水按2L/m2计。本项目的主要废水为生活污水和洗地面水。排放污水总量约巨化集团m3/d，年产生污水量为巨化集团吨（300天/年计）。8.1.1.2厂区给水8.1.1.2.1水源本工程水源为市政自来水管网，水压为0.3MPa。本工程从厂区外自来水管网上引入一根DN100给水管。8.1.1.2.2自来水直供水系统由市政自来水管引入管DN100、水表、阀门和各用水点的枝状给水管等组成。主要供给厂前区生活用水、食堂用水及循环消防水池补充水等。给水管材质采用钢塑复合管，丝扣或沟槽式连接。8.1.1.2.3生产给水加压系统本系统由给水DN100引入管、生产水池及加压系统、厂区枝状给水管及各用水设备等构成。市政自来水供水压力为0.3MPa，能满足本厂总用水的要求。主要供给循环水补充水、冲洗设备及地坪水及其绿化用水等。8.1.1.2.4循环冷却给水系统根据工艺、暖通专业提供的条件，本工程设置一套氨专用循环水系统，设置在车间边。8.1.1.2.5消防给水系统：详见“消防篇”。8.1.1.3厂区排水排水系统根据清污分流原则，主要分为污水和雨水及清下水二个排水系统。84 8.1.1.3.1雨水排水系统雨水沟为明沟设置，为道路二边，并在厂区西南角设置应急池与雨水排放口屋面雨水经雨水斗收集，道路雨水经雨水口收集经管道汇总后，分二路排入厂区南侧园区雨水管网内。雨水量参照××暴雨强度公式：q=2132.423(1+0.537lgTE)/(t+13.451)0.671（升/秒.公顷）式中：重现期TE=1年，t=t1+mt2，t1=5min，m=2。8.1.1.3.2污水排水系统本工程生产废水包括设备及地面冲洗水，罐区地坪冲洗水以及生活污水等。生活污水先经化粪池及隔油池处理后纳入基地污水处理厂处理。污水管道采用加筋UPVC管，橡胶圈连接。8.1.2供电8.1.2.1设计依据1）《供配电系统设计规范》（GB50052-2009）2）《低压配电设计规范》（GB50054-2011）3）《通用用电设备配电设计规范》（GB50055-2011）4）《电力装置的继电保护和自动装置设计规范》（GB/T50062-2008）5）《建筑照明设计标准》（GB50034-2004）8.1.2.2电源由××绿色产业园区接入10KV高压线进入厂区变配电室。整个厂区规划设置一台变压器，容量为500KVA，电压为380V/220V。备用消防电源增设100KW的发电机一台。总配电盘设有过流保护、漏电保护；生产用配电盘设有过电保护、漏电保护。报警系统电源、消防水泵、防排烟、事故照明以及重点生产岗位属于二级负荷，其余生产用电部分属于三级负荷。8.1.2.3用电负荷计算表8-11用电负荷一览表序号编号名称装机负荷（KW）照明负荷(KW)需要容量备注有功(KW)无功(KW)1电子级氨装置2电子级磷烷装置84 3电子级硼烷装置4标准混合气5电子混合气6电子级氯装置7电子级一氧化二氮8电子级三氟化硼9电子级六氟乙烷10电子级砷烷装置11公用工程合计乘以K∑p=0.75K∑p=0.80全项目补偿低压电容后补偿低压电容后变压器损耗ΔPb=0.01SjsΔQb=0.05Sjs全厂合计（高压侧）选500KV变压器一台η=85%COSφ=0.95变压器与低压开关柜组合安装组成低压供电系统，负责本工程的供电。全厂采用低压无功补偿。各车间在车间配电室设补偿，其它均在厂变电站低压配电室集中设置无功补偿。功率因数的控制及补偿电容的投切由补偿装置所在处的无功自动补偿控制器进行监控和控制。8.1.2.4车间配电设计规范：《供配电系统设计规范》（GB50052-2009）；生产动力电源：电压：380/220V，±10%；频率：50±1Hz主要车间设低压配电室，由厂变电所向车间低压配电室送电，动力干线沿地沟或架空电缆桥架敷设至设备电气控制柜。在用电比较集中的辅助设备处设动力配电箱，接线方式采用放射式。功率较大的设备由配电室单独供电。8.1.2.4防雷接地保护①84 、根据自然条件、当地雷电日数、建筑物高度、等级及重要程度，以及《建筑物防雷设计规范》GB50057-2010，《石油化工静电接地设计规范》SH3097－2000的要求，本项目甲类车间、甲类仓库、供气站均按二类防雷建筑物设防。沿建筑物屋顶檐沟板、屋脊及屋面明敷4X25镀锌扁钢组成不大于10m×10m的避雷网格，凡高出屋面的金属管道均与避雷系统作可靠连接。避雷引下线利用柱内主筋（二根∅16主筋），其间距不大于18m。引下线最终与基础钢筋焊接联通。②、各单体建筑内防雷接地、工作接地、保护接地和消防接地均接入接地网,利用建筑物基础作防雷及保护接地的共同接地体,要求共用接地装置接地电阻不大于1欧姆。③、不同标高的避雷带之间以垂直引下线焊接连通,避雷带与作为引下线的柱内主筋焊接连通。④、防雷系统连接均采用焊接连接,搭接长度为扁钢宽度的两倍，园钢大于6D。所有焊接处应刷樟丹油一道，防锈漆两道，做好防腐措施。⑤、出屋面的金属管道均需与就近避雷带连接。所有明露的防雷钢筋刷樟丹油一道防锈漆两道。避雷带过沉降缝作"Ω"型补偿。⑥、室内设接地引出点，接地引出点与钢楼板可靠焊接，钢楼板上设备与钢楼板可靠连接。⑦、罐区储槽、液氧储槽、氩气储槽、二氧化碳储槽为金属罐体，且顶板厚度均大于4mm，故利用金属罐体直接接地进行防雷、防静电，连接点不少于二处；人工接地极采用-50x5镀锌角钢，垂直打入，顶部埋深1.0米，接地极间距5米，距储罐距离不小于5米，室外接地线采用-40x4热镀锌扁钢，埋深1.1米。所有正常时不带电的金属设备、金属管道、金属构架、电缆金属外壳、法兰盘、阀门、放空管等均可靠接地。埋地金属管道与接地装置不共用、不相连时，与接地装置之间的距离不应小于2.0米。在罐区入口处设静电消除器，在罐区罐车装卸处设静电接地线端子，保证装卸安全。⑧、过电压保护：在变配电室低压母线上装一级电涌保护器（SPD），二级配电箱内装二级电涌保护器，末端配电箱及弱电机房配电箱内装三级电涌保护器。屋顶室外风机、室外照明配电箱内装二级电涌保护。电信引入端设过电压保护装置。为防雷电波侵入，电缆进出线在进出端将电缆的金属外皮、钢管等与电气设备接地相连。以上内容符合《建筑物防雷设计规范》GB50057-2010，《石油化工静电接地设计规范》SH3097－2000的要求。84 8.1.2.6照明厂区电力、照明及通讯线路采用电缆沿电缆沟敷设。厂区照明沿主干道绿化带设置道路照明灯具，建筑物之间沿道路每隔30米左右设Jly型250W高压钠灯一座，厂区照明由门卫统一控制。车间照明采用高效防爆节能型灯具，生产车间照明不应低于150Lx。车间照明分散在各车间集中控制。8.1.3电讯8.1.3.1研究范围研究范围为公用工程电信设计，主要包括行政电话系统、火灾报警系统及厂区安全监视系统。8.1.3.2设计采用的标准规范《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB50058-92；《火灾自动报警系统设计规范》GB50116-98。8.1.3.3电讯方案综合楼、生产车间等地安装行政电话，火灾时可拨打“119”报警与消防部门联系。仓库、储罐区、罐区泵棚、装置厂房、辅助厂房及室外框架区分设火灾报警点，安装手动报警器，当发生火灾时，手动报警信号传到控制室的火灾报警控制器，由报警控制器发出声光报警。8.1.4供热：整个厂区不需要蒸汽。8.1.5供气仪表及除尘设备用压缩空气本装置除尘设备用气规格要求为压力≥0.6MPa，常温、干燥，不含杂质。用量＜5Nm3/min。可由各装置工艺单元设小型空压机供给。本装置仪表用气规格要求为压力≥0.6MPa，常温、干燥，不含杂质。用量＜5Nm3/min，因用气量不大，故不设集中空压站，可由液氮贮存装置设氮气气源供给。8.1.6冷冻站8.1.6.1冷负荷本项目工艺需冷量150KW（标况），冷冻盐水供水温度为-15℃。制冷剂为氟利昂22，载冷剂为冷冻盐水。冷冻盐水进机组温度为-10℃，出机组温度为-15℃。84 8.1.6.4节能措施冷冻(盐)水管、冷冻盐水箱及膨胀水箱均采用保温性能良好的难燃型聚乙烯泡沫材料保温，减少能量损失。8.2辅助生产设施8.2.1维修8.2.1.1维修能力与协作关系本工程在厂区西南部设有机修车间，主要承担厂区内各车间的机械、设备、管道、阀门等的日常维护和中、小修任务，以及易损件的加工、替换，以确保生产设备的安全及正常运行。该车间的维修能力基本满足上述要求。大型设备检修、复杂或高精度工件的检修任务，需通过外协解决。8.2.1.2机修间组成和布置机修间由金工、铆焊工段组成。金工工段承担一般备品备件的机械加工、装配，主要的机加工设备均布置在该工段内。铆焊工段承担一般设备、管道的焊接、检修，工段内以焊接和检修设备为主。8.2.2通讯本公司电讯设施主要有：行政管理电话，综合布线系统，无线通讯系统等内容，电讯由当地电讯网接入，其他根据装置需要设置。8.3仓储易燃易爆的甲、乙类生产原料由汽车或槽车运至厂内，贮存于储罐区和甲类仓库分区存放，严禁禁忌物混放。生产用其它非甲、乙类原料，由汽车运至厂内，贮存于厂区内仓库（丙类）内。鱼雷车停放在供气站内。84 9、节能9.1节能设计原则能源是发展国民经济和提高人民生活水平的重要物质基础，国家对能源实行开发和节约并重的方针，为贯彻节约能源这一基本国策，本项目的节能设计按以下原则进行：1）在确保生产工艺的前提下，尽可能选用国内外节能效果较好的新技术、新设备。2）在设计中，尽可能做到布局紧凑、流程合理，尽量减少各物料周转的距离，降低能耗。3）选用节能型电机产品及高效节能灯具。4）采取行之有效的节水、节电、降低能耗等措施，尽可能降低综合能耗水平。9.2产品能耗指标及分析9.2.1实物能耗总量××项目的实物能耗总量为：表9-1本项目各产品耗量表序号项目水(万吨)电(万度)备注1合计　表9-3实物消耗量及综合能耗量表序号能耗项目年耗量耗能折算系数系数折标准煤（t）比例（%）单位（标准煤）单位1水2电3合计结论：本建设项目综合能耗折合标准煤为172.94吨。9.2.3产品综合能耗全年产品总量：××吨；单位产品综合能耗：××t/吨；全年总产值：××万元；万元产值标煤耗：××t/万元。9.3节能措施9.3.1生产工艺节能措施84 1）本项目采用的工艺技术和设备，控制系统采用全自动控制，确保产品质量优异、生产过程和异常控制处置安全有效，现场环境整洁无泄漏。2）合理安排工艺布局，在满足生产工艺要求的前提下，以就近使用为原则，尽量减少线路损耗和管路损失。3）合理选用各通用设备及其驱动电机的控制方案。各生产环节、工序、设备之间做到生产能力的平衡，以减少某些设备的无负荷或低负荷运行，合理安排生产各工段的作业班次。4）合理控制各台大型非连续性生产设备的开停时间，以均衡各个时间段变压器的负载，杜绝多台同时开启造成变压器的过载。5）设备选用低能耗，低噪声设备，并配备相应控制件，以达到最大限度节能。6）本工程主要工艺生产设备均选用先进、成熟的设备，其不但具有较先进的工艺技术，符合国家相关产品能效标准要求，具有投资省、产量高、能耗低的显著优点。9.3.2建筑节能措施屋面采用钢筋混凝土平屋面，40mm厚挤塑聚苯乙烯泡沫塑料板保温层，轻集料混凝土（黏土陶粒混凝土）找坡层；传热系数：K=0.62＜0.7W/m2·K。外墙为240厚多孔粘土砖（孔洞率大于25%），外抹界面剂，30mm聚苯颗粒保温浆料，抗裂砂浆（网格布），弹性底涂、柔性腻子、专用外墙涂料；传热系数K=0.98＜1.0W/m2·K。9.3.3电气节能措施1）建立科学管理体制，实行计划用电，提高电能利用率。2）设计过程中选用节电及节能新技术、新设备、新材料，如采用新型节能变压器、新型Y系列电动机、变频控制等。3）合理优化设计工厂供配电系统，降低线损率，安装自动无功补偿装置，提高功率因数。4）车间照明选用节能型灯具，选用节能型电力变压器和利用低压电容进行无功功率自动补偿装置，以减少线路和系统无功损耗。5）各工段入口均安装电力计量仪表，对大功率工艺设备配置单独计量装置，以加强管理，达到节约能源的目的。6)电气照明采用高效节能型灯具，在楼梯间走廊采用延时开关。室外道路照明采用光控，以节约用电。84 9.3.4绝热凡用冷、热设备及管道，全部采用新型保温材料，以尽量减少冷热的损失。9.3.5工艺布置总体布局上除符合厂区规划要求外，尽量做到生产工艺流程顺，管线走向短，便配电尽量靠近负荷中心，以减少能量损耗，工艺管道布置尽量降低管道阻力损失，节省动力消耗。按工艺流程进行合理布局，采用封闭式管理，减少物料运输，节约运输能源。9.3.6节水措施1、使用各种节水设备，设置计量装置，加强用水管理，防止跑、冒、滴、漏，减少水资源浪费。2、生产中加强用水管理，对冷却水经处理后循环使用或一水二用，以节约用水，提高水的综合利用率。9.3.7其他节能措施选用优质保温、保冷材料；选用性能优良的管道阀门、疏水器等；在车间设备布置上尽量利用位差输送物料，以减少动力消耗；对各车间的用电、用汽、用水分别安装计量表。加强能耗管理，并落实能耗考核承包制，同时对职工加强节能教育，提高本项目职工的节能意识。84 10、消防10.1消防设计原则和依据10.1.1设计原则本工程设计中执行“预防为主，防消结合”的方针，采用以水消防为主，干粉灭火、泡沫灭火为辅的消防方案，厂区内同一时间火灾次数按一处考虑。由于该工程生产和贮存物料品种多、火灾危险性大，因此，要根据不同场所各自的火灾种类选用相应的灭火方案。10.1.2设计依据1）《建筑设计防火规范》GB50016-20062）《建筑灭火器配置设计规范》GB50140-20053）《建筑物防雷设计规范》GB50057-20104）《化工企业静电接地设计规程》HG/T20675-199010.2项目概况根据生产工艺分析，厂区生产中使用的危险化学品主要有液氨、氢气、磷烷、乙硼烷、二氧化碳、环氧乙烷、硅烷、三氟化硼、六氟乙烷、一氟甲烷、二氟甲烷、三氟甲烷、四氟化碳、液氯等石油气和甲乙类危险化学品。项目建成后具有火灾、爆炸的危险。10.3消防设施和措施10.3.1工艺消防（1）严格按照爆炸危险场所的规范进行工艺设计，采用密闭容器，避免跑、冒、滴、漏，防止易燃易爆有毒物质外逸。（2）在满足工艺条件的前提下，尽量减少易燃有毒物质在车间的储存量。（3）凡在爆炸危险场所的机泵设备，均选用防爆型号。（4）工艺物料管道及相关设备均采用防静电接地措施。（5）在生产车间、罐区和仓库等可能浓度超标的地方设置可燃报警仪，报警装置分别设置于车间操作室和厂区值班室。10.3.2建筑消防（1）厂区内总平面图布局，严格按照有关规范要求进行，以满足消防疏散要求。本项目的消防依托新厂区总消防系统。84 （2）建筑物耐火等级、建筑物之间的防火间距等严格按照《建筑设计防火规范》（GB50016-2006）等规范要求进行设计。（3）确定各建筑物的火灾危险性类别，划分出防火分区，设置必要的安全出口及安全楼梯等满足规范规定的消防、安全疏散要求。（4）界区内设环形消防通道，路宽及转弯半径设计应满足各建筑消防要求。（5）根据生产装置的消防特性及《建筑灭火器配置设计规范》（GB50140-2005）等的要求，本项目火灾危险性类别为石油气、甲类和丙类，规划建设的厂内消防设施，可满足消防用水量的要求。（6）消防器材设置于明显、取用方便及较安全的地方，且不影响安全疏散。消防器材定期检查，并做到“三定”（定点、定型号和用量、定专人维护管理），不准挪作他用。10.3.3电气消防（1）重点生产岗位和消防用电负荷属二级负荷，为满足消防设施用电的可靠性，厂区内配备了100KW的发电机组供消防用电或是停电时紧急应急用。（2）厂区内有可燃气体泄漏源的爆炸危险场所内，在可燃气体的释放源附近应设置可燃气体报警器，报警器主机设在门卫处或是经常有人值班的地方，在防爆区内的电气设备均应采用隔爆型。（3）在主要车间及办公楼，按照规范设置疏散指示及应急照明灯。遵照国家新倡导的节约能源的原则。在项目整体设计中，充分考虑到采用各种新技术措施，节约能源，提高经济效益。10.3.4给排水消防（1）消防水源厂区设有一个消防水池和消防泵，消防水池的水量可以满足本项目的消防用水。本项目的消防可以依托厂区的消防系统。（2）消防管网本工程室外消防给水管道采用环状管网布置方式，两台水泵出水管与环网相连。（3）室外消火栓设置厂区消防管网上设若干室外消火栓，消火栓型号为SS100-1.0。室外消火栓保护半径不超过150m，消火栓间距不超过120m。84 （4）消防用水量场内各建筑根据《建筑设计防火规范》（GB50016-2006）要求设置室内消火栓系统，并根据《建筑灭火器配置设计规范》（GB50140-2005）规定，配置手提式灭火器。本工程同一时间的火灾次数为一次，本工程消防用水量如下表所示：表10-1消防用水量表序号名称消防用水量L/s火灾延续时间h一次消防用水量（m3）备注室内L/s室外L/s1生产厂房　2中试车间1　3中试车间2　4电子级氨车间　5仓库　6综合楼　7供气站　8甲类仓库　9罐区　本工程消防最不利建筑为罐区，一次消防总用水量都是××m3。消火栓用水量最大按43L/s。需设消防水池有效容积为××m3以上。10.4事故应急池本厂区设置了一个事故应急池，在厂区西南面，占地面积为××m2，总储存量不小于××m3，能满足本厂区事故应急的要求。本项目可能出现的最大、最严重爆炸、火灾事故，为罐区火灾事故，其消防用水量为43L/S，根据《水体污染防控紧急措施设计导则》确定，产生的污水总量：V总=（V1+V2-V3）max+V4+V5。罐区内最大贮罐容积约：V1=××m3。本项目一次消防最大用水量：V2=464.4m3。罐区围堰有效容积，V3=××m3。车间事故状态下没有污水量进入雨水系统，V4=0m3发生事故时可能进入该系统的降雨量V5=10qF=10x（××/163.2）x2.3255=××m3。84 通过以上计算可知：本项目发生火灾事故的最大污水量：V总=（V1+V2-V3）max+V4+V5=××m3。所以事故应急池贮存量大于发生火灾事故的最大污水量，因此本项目的事故应急池设置符合要求。注1:建筑项目涉及具有可燃性的化学品的作业场所出现最大最严重火灾事故产生的污水数量为:V总=（V1+V2-V3）max+V4+V5注:V1+V2-V3）max是指对收集系统范围内不同罐组或装置分别计算,m3，取其最大值。V1——收集系统范围内发生事故的一个罐组或一套装置的物料量。m3，注：储存相同物料的罐组按一个最大储罐计，装置物料量按存留最大物料量的一台反应器或中间储罐计；V2——发生事故的储罐或装置的消防用水量。m3，V3——发生事故时可以转输到其它储存或处理设施的物料量。m3，V4——发生事故时仍必须进入该收集系统的生产废水量。m3，V5——发生事故时可能进入该系统的降雨量。m3，V5=10qF，q——降雨强度，mm，按平均日降雨量；q=qa/n。qa——年平均降雨量，mm；n——年平均降雨天数。F——必须进入事故废水收集系统的雨水汇水面积。Ha。注2：本项目地区雨水年平均降雨量为1691.6mm，年降雨天数为163.2天,污水总面积约为××/2公顷（有二个雨水出口）。84 11、环境保护生产项目必须按照国务院1998年第253号令《建设项目环境保护管理条例》的规定，必须配套建设环保设施，与主体工程同时设计、同时施工、同时投产使用；产生污染的生产项目，必须遵守污染物排放的国家标准和地方标准；工业生产项目应当采用能耗物耗小、污染物产生量少的清洁生产工艺，合理利用自然资源，防止环境污染和生态破坏。11.1厂址与环境现状××坐落在××内。园区坚持“政府主导、市场运作、依托××，开放开发”的原则，以中俄科技合作为特色，以建设“氟硅之都”为目标，以氟硅化工、精细化工、生物化工等为产业重点，吸引和鼓励各类科技人员入园创新创业、孵化和培养高新技术企业，大力发展高新技术产业。11.2设计采用环保标准1)空气环境：常规污染因子执行《环境空气质量标准》（GB3095-2012）的二级标准；特殊污染因子执行《工业企业设计卫生标准》（GBZ1-2010）；2)声环境：执行《声环境质量标准》（GB3096-2008）III类标准；3)地表水：执行《地表水环境质量标准》（GB3838-2002）III类标准；4)噪声：执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中III类标准；5)废气：执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）二级标准；6)废水：执行××纳管标准；7)居民区大气有毒有害物质最高允许浓度参照《工业企业设计卫生标准》（GBZ1-2010）；11.2建设项目的主要污染物11.2.1废气本项目采用集中供热，无锅炉烟气排放，只有生产工艺废气排放。具体详见下表11-1：84 表11.1废气排放一览表序号排放位置主要成分排放量治理措施投资（万元）1氨精馏塔出口及尾气排放口NH35.1kg/h催化分解（已含装置工艺中）202PH3装置尾气排放口PH30.0001kg/h干法解毒（已含装置工艺中）23B2H6装置尾气排放口B2H60.0001kg/h干法解毒（已含装置工艺中）24氯气装置尾气排放口CL20.76kg/h氨水碱液喷淋吸收（已含装置工艺中）105N2O纯化装置尾气排放口N2O1.5kg/h高温催化裂解（已含装置工艺中）26BF3纯化装置尾气排放口BF30.02kg/h氨水碱液吸收（已含装置工艺中）27六氟乙烷纯化装置尾气排放口六氟乙烷0.11kg/h高温催化裂解，氨水吸收（已含装置工艺中）28一氟甲烷纯化装置尾气排放口一氟甲烷0.1kg/h高温催化裂解，氨水吸收（已含装置工艺中）29二氟甲烷纯化装置尾气排放口二氟甲烷0.1kg/h高温催化裂解，氨水吸收（已含装置工艺中）210三氟甲烷纯化装置尾气排放口三氟甲烷0.1kg/h高温催化裂解，氨水吸收（已含装置工艺中）211八氟环丁烷纯化装置尾气排放口八氟环丁烷0.1kg/h高温催化裂解，氨水吸收（已含装置工艺中）212四氟化碳纯化装置尾气排放口四氟化碳0.23kg/h高温催化裂解，氨水吸收（已含装置工艺中）213AsH3装置尾气排放口AsH30.0001kg/h干法解毒（已含装置工艺中）211.2.2废水本项目产生的废水主要生活污水、环保处理污水、地坪冲洗水、分析化验排水等。具体详见下表11-2：84 表11.2废水排放一览表序号废水名称排出点排放方式排放量治理措施投资（万元）1生活排水办公、食堂下水道直排3816吨/年无02环保处理排水集水坑集中排放3672吨/年前期处理后交由园区集中处理0说明：该表中废水排放按24小计，实际是每天一班次，每班次为8小时。实际污水排放为表中的三分之一。11.2.3固废本项目固废主要为吸附剂和生活垃圾。具体详见下表11-3：表11.3废渣排放一览下表序号废渣名称排放量主要成分及污染物排放去向及治理措施治理投资（万元）吨/天吨/年1生活垃圾生物质园区垃圾集中处理02吸附剂硅酸盐类园区集中统一处理011.2.4粉尘本项目生产过程中不涉及粉尘。。11.2.5噪声来源于空压机、冷冻机组、风机等设备运行时产生的噪声。消声前噪声强度约为75～110dB左右。消声后噪声强度约为75～85dB左右。表11.5噪声排放情况表序号噪声源工作情况消声前声压级（Dba）消声措施消声后声压级（Dba）备注1冰机连续～110〃＜852排风机连续～110〃＜853化验室引风机连续～110〃＜854真空泵连续～90〃＜8511.3“三废”治理与综合利用措施11.3.1项目采取的清洁生产措施××84 对本项目的清洁生产方面较为重视，在工艺路线、设备选型等方面均采取了一定的清洁生产措施。11.3.2污染防治措施及方案11.3.2.1废气各车间产生的废气、尾气通过尾气吸收装置经洗涤、过滤、催化分解后高空排放。11.3.2.2废水在各生产车间设置集水坑收集机泵的跑冒滴漏废水和冲洗水，集中送至厂区污水处理站进行一、二级处理，达到园区污水站接受指标后经污水管路系统排入园区污水站进一步处理后排海。生活污水经化粪池消化处理后排入厂区污水处理站，用作细菌的有机养料源。11.3.2.3废渣及残液本装置的废渣，主要为少量生活垃圾，残渣为废弃吸附剂。生活垃圾由园区统一处理。废弃吸附剂可交由固废处理专业公司无害化处理。11.3.2.4粉尘本项目生产过程无粉尘排放。11.3.2.5噪声本项目拟建厂址距离声环境敏感点较远，总体上声环境不敏感，噪声防治对策如下：①充分选用先进的低噪设备，如选用低噪的风机、空压机、泵等，以从声源上降低设备本身噪声。②对车间空压机和冷冻机等高噪声设备进行集中室内布置，设备除设防震基础外要建立良好隔声效果的站房，安装隔声窗、加装吸声材料，避免露天布置。③加强设备的维护，确保设备处于良好的运转状态，杜绝因设备不正常运转时产生的高噪声现象。④在厂区周围设置一定高度的围墙，减少对厂界环境的影响，厂区内种植一定数量的乔木和灌木林，既美化环境又减轻声污染。11.4绿化设计工厂绿地能调节气候，提高湿度，减弱噪音，吸收尘埃，净化空气，美化环境和改善劳动条件，根据国家现行有关规定，为保护自然环境，净化和保护厂区四周的环境卫生，本设计方案在总体布局上充分考虑了绿化面积，绿化系数达16%。84 12、劳动保护与安全卫生12.1设计依据12.1.1国家、政府和主管部门有关规定：1）《中华人民共和国安全生产法》（中华人民共和国主席令70号）；2）《中华人民共和国消防法》（中华人民共和国主席令6号）；3）《中华人民共和国职业病防治法》（中华人民共和国主席令60号）；4）《使用有毒物品作业场所劳动保护条例》（中华人民共和国国务院令第352号发布）；5）《特种设备安全监察条例》（国务院令第549号）；6）《危险化学品建设项目安全监督管理办法》国家安监总局第45号令；7）《××省危险化学品重大危险源监督管理实施细则（试行）》浙安监管危化(2012)145号8）《关于推行化工生产过程自动化安全控制系统的指导意见》(浙安监管危化[2008]200号)9）其他相关的劳动与工业卫生法律、法规。12.1.2采用的主要标准、规范、规程和其它依据：1）《工业企业设计卫生标准》（GBZ1-2010）；2）《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》（GB50058-92）；3）《建筑物防雷设计规范》（GB50057-2010）；4）《建筑设计防火规范》（GB50016-2006）；5）《化工企业安全卫生设计规定》（HG20571-95）；6）《建筑灭火器配置设计规范》（GB50140-2005）；7）《化工企业静电接地设计规程》（HG/T20675-1990）；8）《固定式压力容器安全技术监察规程》（TSGR0004-2009）；9）《压力管道安全技术监察规程-工业管道》（TSGD0001-2009）；10）其他相关的标准、规范、规程。12.2生产过程中职业危害因素的分析12.2.1主要物料及职业危险概述××年产××84 建设项目在生产过程中涉及的主要危险化学品有液氨、氢气、磷烷、乙硼烷、二氧化碳、环氧乙烷、硅烷、三氟化硼、六氟乙烷、一氟甲烷、二氟甲烷、三氟甲烷、四氟化碳、液氯等，火灾危险性类别分别为甲、乙类。它们遇明火、高热有引起燃烧的危险。主要危险化学品物化特性见表12-1。表12.1主要危险化学品和主要性质表序号名称分子量熔点℃沸点℃闪点℃燃点℃爆炸极限（％）毒性程度(大鼠经口)mg/m3火险分类下限上限1氨17-77.7-33.5-65115.727.4350乙2磷烷34-133-87.7----1.4甲3氯71-101-34.5-----乙4氧气32-218.8-183.1-----乙5氢气2-259.2-252.8-4004.174.1-甲6环氧乙烷44-111.710.7-55428.93100-甲7一氧化二氮44-90.8-88.5-----乙8三氟化硼117-10712.59硅烷32-185-111.510砷烷78-113.5-62.512.2.2两重点一重大情况根据安监总局发布的重点监管的危险化学品及危险化工工艺以及《危险化学品重大危险源辨识》GB18218-2009，本项目涉及到的属重点监管的危险化学品如表10.2。表10.2重点监管危险化学品表序号品名年用量类别项目危险货物编号UN号1液氨2040t/a液化气体有毒气体2300310052磷烷1t/a压缩气体有毒气体2300521993氯气102t/a液化气体有毒气体2300210174高纯氢10000Nm3/a压缩气体易燃气体2100110495环氧乙烷100t/a液化气体易燃气体21039104084 6三氟化硼1.05t/a压缩气体有毒气体230181008本项目气体产品生产中，多为复配工艺，没有列入重点监管的危险化工工艺过程。根据表7.2、7.3原料及产品储存情况表，依据GB18218-2009对危险品临界量的规定，本项目涉及到的氨（存量26.5t/临界量10t）、环氧乙烷（存量23.7t/临界量10t）已独立构成重大危险源，因此本项目单元构成重大危险源。应按有关规定进行申报和管理。12.2.3危险性作业分析本工程生产过程中的主要职业危害有燃烧、爆炸、高压等，其次有触电、机械伤害、噪声等。(1)中毒本项目中氯气、氨、磷化氢等常温下为气态，具有一定的毒性（其中磷化氢为剧毒），生产、储存过程造成的泄漏、挥发、接触，从而对操作人员造成职业危害。(2)燃烧、爆炸本项目氢气等属易燃、易爆气体，有引起火灾爆炸的危险。(3)触电与机械伤害生产过程中使用的电气设备和转动设备，存在着触电与机械伤害的潜在危险因素。(4)噪声伤害工程的主要噪声源为压缩机、泵设备产生的噪声。（5）高温介质蒸汽输送过程潜在烫伤危害。（6）压力管道易燃液体的输送管路，如存在质量缺陷，可能发生易燃溶剂等泄漏事故，极易引起火灾和人员烫伤。（7）流速物料输送流速过快或者其他操作引发静电积聚和放电可导致火灾爆炸。（8）电器设备漏电，造成人员触电事故。（9）着火源造成可燃液体火灾事故的着火源主要包括明火、静电、电火花和电弧、雷击等。84 ①明火明火主要为检修动火、现场吸烟、机动车辆排烟带火等。②静电可燃液体具有积聚静电荷的特性，在物料输送过程都有积聚电荷的倾向，若防静电措施没有落实或落实不到位，使得积聚的静电荷放电能量大于易燃混合物的最小引燃能，此时若气体混合物的浓度处于爆炸极限内，将引发火灾爆炸事故。③电火花和电弧电火花和电弧是一个不可忽视的危险着火源。电火花是由电极间的击穿放电产生的，大量电火花压集则形成电弧，一般电火花的温度很高，特别是电弧的温度可达3000～6000℃。它不仅使可燃物质引起燃烧，而且能使金属熔化、飞溅，遇泄漏的可燃液体很容易导致火灾爆炸事故。④雷击防雷设施不齐全，储罐及建、构筑物防雷接地措施不利等情况下有可能在雷雨天气引发火灾爆炸事故。12.3职业安全卫生主要防范措施12.3.1总图布置和建筑安全措施1）总图布置在满足生产需要前提下，间距符合规范要求。厂区主车道宽6m，次车道宽4m，转弯半径9m，设有入口二个，人流入口和货运入口各一个。2）罐区（甲类）储罐与道路间距符合规范要求。3）项目中建筑单体耐火等级采用二级。4）建筑单体安全出口符合规范要求，最远工作地点到外部出口或楼梯的距离满足规范要求。楼梯间采用封闭式楼梯间，门向疏散方向开启。5）车间采用抗爆能力强的钢筋砼框架结构，并加强局部强制通风，厂房的泄压比满足规范要求。12.3.2工艺、设备安全措施1）生产厂房内涉及氯气、一氧化二氮、磷化氢等剧毒介质的设备，采用负压操作，确保有毒气体不能外漏。2）生产厂房内涉及可能泄漏易燃、易爆、剧毒气体场所，设置可燃、有毒气体报警设施，有毒气体报警设施与尾气吸收系统联锁。3）PH3、AsH3、B2H6有毒尾气处理系统采用××84 研发的催化净化成套设备（该设备在中科院半导体所、厦门大学、北京航天航空大学、中国航天科技集团公司、沈阳科学仪器厂多年使用，效果良好），通过系统的催化作用，将PH3、AsH3、B2H6转为无害物质。4）含氯废气采用碱吸收系统，对尾气中的氯气进行中和反应。5）工艺设计可靠，在过程中设置有必要的温度、压力、液位、流量检测和报警，以保证生产在正常条件下运行。尽可能提高系统自动化程度，提高系统的安全性。管道流速设计在安全流速以内；易燃、易爆介质容器的放空管设置阻火器；对生产原料的储存、输送及生产过程，尽可能采取密闭的方式。6）在管道设计中尽量减少可能的泄漏点，管道采用流体输送用无缝钢管和流体输送不锈钢无缝钢管焊接连接，输送易燃易爆介质的阀门、管件的公称压力均按不低于1.6MPa压力设计。7）液体原料的投料采用流量计控制，最大程度上降低易燃易爆介质在车间的存量，减少事故隐患。8）在设备设计、选择方面，根据项目的特点进行可靠设计，增加安全性，设备材质按规定选用。设备上的爬梯平台护栏按规范要求设计，泵等运转设备设护罩等设施，以减少可能的伤害事故。定型设备选用有相应资质企业生产的产品。9）各设备之间、管线之间，以及设备、管线与厂房、建构筑物的墙壁之间的距离，都按相关的规范要求进行设计。便于检修、人员疏散，做到安全可靠。在可能超压的容器等设备上设置安全阀，以消除设备超压爆炸隐患。12.3.3电气安全措施1）本项目除消防系统、重点危险岗位和应急照明设施供电按二级负荷设计，其它工艺设备及公用工程设施用电负荷为三级。2）甲类生产车间、甲类物品库等建筑物内的采光照明按有关标准和规范进行设计，在重要场所及通道设置事故照明，供紧急事故处理和人员疏散用。3）对会产生静电积聚的设备、管道采取可靠的静电接地措施。4）化工储罐壁厚大于4mm，则直接利用罐作为闪雷器，用镀锌扁钢做水平接地体，与罐体相连，接地点不少于两处。5）本项目除各甲类生产车间、罐区、供气站、甲类仓库按第二类防雷建筑要求进行设计，其它建、构筑物按第三类防雷建筑物要求进行防雷设计。6）对电气设备，按规范设置防触电的接地保护措施。84 12.3.4防毒措施1）加强管道、设备的密封措施及防腐措施，防止有毒有害物料泄漏而引起的中毒事故。2）在生产和贮存有毒物质场所（如氨气、氯气、磷化氢）设置有毒气体报警系统装置。3）生产产房、危险品库采用集中通风系统，并设置尾气吸收装置，使工作场所有害物质浓度达到《工作场所有害因素职业接触限值》（GBZ2.2-2007）的要求。12.3.5防噪声措施生产设备，尽量选用低噪声，少振动的设备，对产生较大噪声和振动的设备，采取消声、吸声、隔声及减振、防振措施，对接触噪声的工人发放耳塞等防护用品，操作室采取隔音措施等，使操作中心噪声值达到规范要求。12.3.6防尘措施本项目不及涉及粉尘。12.3.7防烫保温和防机械伤害措施1）对有可能对人体接触的高温设备和管道采取防烫保温绝热措施。防烫保温范围包括介质>60℃，距地面或操作平台2.1m以下，距平台边缘0.75m以内的高温设备和管线。2）对于机械传动运转部分，如各类泵，均配置安全防护罩，以保证操作工人的安全。10.3.8安全色及安全标志1）凡需要迅速发现并引起注意以防发生事故的场所、部门均按标准涂安全色。2）在装置区、建筑物内，凡容易发生事故的危及生命安全的场所和设备，以及需要提醒操作人员注意的地点，均按标准设置各种安全标志。12.3.9安全制度和管理12.3.9.1健全安全生产管理制度根据《安全生产法》和《××省安全生产条例》，建立以“安全生产责任制”为核心的安全生产管理制度，健全工艺操作规程和岗位安全操作法等相关的安全生产规章制度，实现安全生产“四全”管理（既全员、全过程、全方位、全天候的安全管理）。12.3.9.2建立安全生产管理机构，完善安全生产组织网络84 建立以企业法人代表为首的安全生产管理委员会（或领导小组），全面负责领导指挥安全生产工作，设立专职安全员，重要科室和生产车间、班组设立兼职安全员，形成安全生产组织机构网络，做到横向到位、纵向到底。12.3.9.3深入安全生产宣传教育，强化安全知识和技能培训。树立“安全第一、预防为主”的指导思想，开展安全生产宣传教育，将“安全生产人人有责”的意识深入人心，使全体员工参与到安全生产活动中来。加强新员工的安全生产知识培训和老员工安全技能培训，增强作业人员的作业技能和应急处理能力，确保安全生产。12.3.9.4加强作业现场管理，落实安全生产规章制度生产区域严禁烟火，制定使用明火作业的安全管理规定，严格遵守动火作业等危险作业审批发证制度，杜绝因违规作业而引起的事故。加强作业现场安全管理，非工作需要任何人员严禁进入作业区，凡进入作业现场都必须穿戴相应的安全防护和劳保用品。12.3.9.5严格执行特种设备使用保养压力容器和其他特种设备使用前，必须经当地质监部门检测备案，指定专人定期检查维护更新；作业人员必须经过专业培训并持证上岗。12.3.9.6确保安全卫生投入为了确保安全生产，投入必要的安全卫生设备，配置足够的消防器材和应急救援设施；落实专人负责维护保养，及时修理更新受损设备，使其始终处于完好可用状态。12.3.9.7严格执行持证上岗制度企业法定代表、安全管理人员、特种作业人员必须经过相关部门安全教育和专业技能培训，并取得相应的资质证书方可从事相应作业和任职。12.3.9.8设立作业人员健康监护制度从事有毒有害和特种作业人员上岗前，必须经过职业病检查并建立健康监护档案，严禁安排员工从事职业禁忌症的作业，对从事可能存在潜在损害健康作业的人员必须定期接受体检，对患职业禁忌症人员必须及时调离原岗位。84 13、工厂组织和劳动定员13.1工厂体制及组织机构本项目为××新建的项目，公司实行公司办、科室、车间三级管理机构。13.2生产组织和劳动定员13.2.1企业工作制度企业生产天数为300天，连续生产岗位操作工人采取“四班三运转”操作。并按每周五天工作制，适当增加轮休人员。非连续生产岗位操作工人实行常白班制，并按每周五天工作制。13.2.2劳动定员和人员培训根据需要，本项目拟配备人员总数为×名。根据设备数量、规格、生产自动化程度及工作制度，按岗位进行配备，劳动定员见表13-1：表13-1本项目定员情况表序号部门定员生产人员管理人员备注每班人员班次1生产车间 2维修  合计人（其中管理人员×人，技术人员×人）13.3人员来源和培训13.3.1工人、技术人员和管理人员的来源向人才市场招聘。人员素质要求：以化工本科生为主，参与本企业新产品的研发工作，适当招聘大、中专化工专业人才作为生产车间的技术骨干。操作工人以高中毕业生为主，经培训合格持上岗证，方能上岗操作。13.3.2人员培训计划技术培训主要内容包括全员文化素质培训、生产管理培训、关键技术的应用培训、关键仪器设备的操作与维修培训、软件应用与开发培训、新产品研制开发培训、质量控制培训等。培训对象包括生产工人、技术人员及管理人员。培训方式以企业内为主，具体培训措施：84 1、组织理论知识学习，了解有关产业，提高职工文化知识水平。2、在本项目投产前组织各类人员就地培训，上岗前要组织考核，择优上岗。3、聘请有实践经验的专家来厂现场指导、传授技术。安排有实践经验的技术人员给不同岗位的干部、工人上课，提高全员业务素质。4、技术含量高的设备的操作人员需由设备提供商负责培训。84 14、项目实施计划本项目实施内容包括：可行性研究报告的编制，初步设计的编制和审批，施工图设计、设备制作订货、招投标、图纸会审、土建厂房施工、设备安装、人员培训和调试投产等。本项目获准后计划在九个月时间内建成投产，具体工作进度安排如下：具体实施进度安排详见下表14-1：表14-1项目实施进度表时间项目2013年2014年10111212345678编制可行性设计　　　　　　　　　　　　环境影响及安全评估　　　　　　　　　　　　初步设计及评审　　　　　　　　　　　　　施工图设计　　　　　　　　　　　　施工前准备　　　　　　　　　　　　土建施工　　　　　　　　　　　　设备制造、订购　　　　　　　　　　　　　设备设施安装　　　　　　　　　　　　试车、试生产　　　　　　　　　　　　84 15、投资估算15.1投资估算编制说明本工程为××年产年产××建设项目。项目总投资12567.33万元。15.2投资估算编制依据和说明(1)《化工建设项目可行性研究投资估算编制办法》(2)发改投资［2006］1325号《建设项目经济评价方法与参数》（第三版）；(3)我公司有关设计专业和厂方提供的设计条件；(4)安装工程按类似工程的估算指标并结合本项目的特点进行估算；(5)土建工程按类似工程建筑结构形式，并结合当地类似工程造价估列；(6)其他费用按《××省工程建设其他费用定额》（2006）及当地有关取费标准计取。(7)设备价格向厂方询价，不足部分按机械工业信息研究院编制的《机电产品报价手册》及机械工业电子出版社出版的《中国机电产品报价手册》计取。非标设备按中石化总公司发布的《非标设备综合价格》计取；15.3投资估算及分析15.3.1固定资产投资估算本项目建设投资××万元,含固定资产费用××万元。15.3.2投资分析设备购置费：××万元，占建设投资62.81%；建筑工程费：××万元，占建设投资4.40%；安装工程费：××万元，占建设投资18.84%；其他费用：××万元，占建设投资13.94%；合计:××万元，占建设投资100%。15.4流动资金估算本项目采用分项详细估算法计算流动资金，计算结果得全额流动资为××万元，铺底流动资金为××万元。具体数据详见：表1流动资金估算表84 16、资金筹措16.1资金来源16.1.1本项目新增固定资产投资××万元。16.1.2本项目流动资金为××万元,企业自筹。16.2资金使用计划本项目建设期为一年，建设投资××万元，具体情况详见总投资及资金筹措表。84 17.财务评价17.1产品成本和费用估算17.1.1成本和费用估算的依据及说明（1）估算提供建设投资，有关专业提供原辅材料消耗定额，燃料及动力消耗定额，调查所得产品及原辅材料、燃料动力价格;（2）构成成本的各项费用按国家石油和化学工业局《化工投资项目经济评价参数》（2000年）计取。（3）总定员××人，人均工资和福利费××万元/年。（4）固定资产按综合直线折旧法分10年折旧，残值率5%。固定资产外其他费用、无形及递延资产分10年摊销。17.1.2成本和费用估算(1)本项目成本和费用估算按生产要素估算法计算，正常年份各成本见下表名称数据总成本经营成本可变成本固定成本万元××××××××(2)具体数据详见：表4无形及递延资产摊销估算表表5固定资产折旧估算表表6外购原材料和燃料动力消耗表表8总成本费用估算表17.1.3成本和费用分析本项目正常年份总成本费用为××万元，其中可变成本××万元，固定成本××万元，相对固定成本对产品成本影响较大。17.2销售收入和税金估算17.2.1销售收入估算本项目年均销售收入为××万元。具体数据详见：表3销售收入表17.2.2税金估算（1）增值税率17%，城建税及教育费附加10%。（2）本项目完工后，年均可上交销售税金及附加为××万元。84 17.3财务分析17.3.1财务分析的依据及说明（1）《建设项目经济评价方法与参数》（第三版）。（2）《化工投资项目可行性研究报告编制办法》（2006年）。（3）项目建设期4年，经济寿命期10年，计算期11年，投产第一年生产负荷80%，第二年即100%达产。（4）所得税率25%。（5）盈余公积金、公益金按税后利润的10%、5%计取。（6）基准收益率14%。17.3.2财务分析指标17.3.2.1主要静态指标（1）投资利润率：36.10%（2）投资利税率：47.33%（3）投资收益率：36.10%（4）投资回收期名称年数备注全投资所得税前3.25年含建设期1年全投资所得税后3.83年含建设期1年上述指标优于行业基准。17.3.3.2主要动态指标指标财务内部收益率财务净现值（ic=12%）全投资所得税前44.24%15110.73万元全投资所得税后34.35%9920.93万元自有资金34.35%9920.93万元成本效益分析表明，本项目投资回收期短，经济效益好。具体数据详见：表11资产负债表表12全投资现金流量表表13自有资金现金流量表84 17.3.4不确定性分析（1）盈亏平衡分析生产能力利用率：BEP=固定成本/（销售收入-销售税金及附加-可变成本）=3688.00/（12834.00-1565.86-3043.15）=44.84%即项目生产能力只要达到设计能力的44.84%，就能保本。（2）敏感性分析通过对影响项目效益的各因素作单因素敏感性分析可知，经营成本变动对项目效益影响最为敏感，产品售价变动次之。84 18.结论18.1综合评价18.1.1项目研究过程中主要方案的选择18.1.1.1工艺技术方案××以××××为投资主体。在××内已有小产量后产。因此本建设项目包括14种产品，即电子级氨、电子级磷烷、电子级乙硼烷、电子混合气：以电子级磷烷、电子级乙硼烷、电子级硅烷（电子级氮/氢/氩/氦/二氧化碳平衡气）为主要组分配制的电子混合气，以电子级氟化物（以超纯氧为平衡气）为主要组分配制的电子混合气、标准混合气（食品级二氧化碳-环氧乙烷混合气）、电子级氯气、电子级一氧化二氮、电子级三氟化硼、电子级六氟乙烷、电子级一氟甲烷、电子级二氟甲烷、电子级三氟甲烷、电子级八氟环丁烷、电子级四氟化碳的生产装置、工艺技术、产品收率等与国外先进水平相媲美。因此本项目工艺技术可行。18.1.1.2建厂条件及公用工程1）本项目属于新建项目，拟建厂址位于××。2）供水：由××统一供应。3）供电：由××绿色产业园区接入10KV高压线进入厂区变配电室。整个厂区规划设置一台变压器，容量为500KVA，电压为380V/220V。备用消防电源增设100KW的发电机一台。4）防灾规划：消防规划：在园区内设置消防站一个；厂区内设置消防水池一个，消防管网设置环状。5）污水处理：生产过程不产生工艺污水。本项目生产过程中的污水主要来源于生活污水、车间清洁水和少量尾气吸收污水。经过预处理后，排入园区管网再集中处理。6）固废：本项目没有生产性固废产生，只有生活用品中的固废。项目拟建地交通运输条件良好，园区内水、电、污水处理等公用工程配套齐全；因此该厂址建厂条件优越，为理想的拟建厂址。18.1.2项目经济、社会效益评价1）经济效率评价84 本项目经过系统的经济分析：该项目投资回收期短，经济效率好，项目盈亏平衡点低,抗风险能力强,本项目在财务上是可行的。2）社会效益评价本项目拟建在××，项目建成运营后年利税总额6102.86万元，较大的推动当地经济发展，且为社会提供50人的就业岗位，因此本项目具有效好的社会效益。18.2研究报告的结论××募集项目，采用生产工艺成熟、先进、可靠，选址合理，具有很好的经济效益和社会效益，因此本项目可行。84'