GBT26044-2010信号传输用单晶圆铜线及其线坯.pdf 9页

'ICS77．150．30H62缮亘中华人民共和国国家标准GB／T26044—2010信号传输用单晶圆铜线及其线坯Singlecrystalroundcopperwireanddrawingstockforsignaltransmission2011-01-10发布2011—10一01实施宰瞀鹳鬻瓣警糌瞥星发布中国国家标准化管理委员会仅19 标准分享网www.bzfxw.com免费下载前言GB，T26044—2010本标准由中国有色金属工业协会提出。本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口。本标准由焦作市森格高新材料有限责任公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所负责起草。本标准由兰州理工大学参加起草。本标准主要起草人：封存利、刘光林、丁雨田、武国旗、古思红、胡勇、杨丽娟、赵永善、赵军锋。 www.bzfxw.com信号传输用单晶圆铜线及其线坯GB／T26044—20101范围本标准规定了信号传输用单晶圆铜线及其线坯的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同(或订货单)内容。本标准适用于采用热型连铸技术所生产的圆形横截面单晶圆铜线坯及其制成的单晶圆铜线。2规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。GB／T3048．2电线电缆电性能试验方法第2部分：金属材料电阻率试验GB／T3952电工用铜线坯GB／T3953电工圆铜线GB／T4909．2裸电线试验方法第2部分：尺寸测量GB／T4909．3裸电线试验方法第3部分：拉力试验GB／T4909．4裸电线试验方法第4部分：扭转试验GB／T5121(所有部分)铜及铜合金化学分析方法Ys／T448铜及铜合金铸造和加工制品宏观组织检验方法3术语和定义下列术语和定义适用于本标准。3．1单晶圆铜线坯Thesinglecrystalroundcopperdrawingstock采用热型连铸技术生产的圆形横截面线坯，且任一圆形横截面内所含有的晶粒数不超过10个的铜线坯。3．2单晶圆铜线ThesinglecrystaIroundcopperwire采用单晶圆铜线坯进一步深加工制成的圆铜线材。4要求4．1产品分类4．1．1牌号、状态、规格单晶圆铜线及其线坯按化学成分分为两个牌号。其牌号、状态、规格应符合表1的规定表1单晶圆铜线及其线坯的牌号、状态、规格直径／名称牌号状态mm单晶圆铜线坯TUl、TU2铸(z)>3．0～300软(R)0．070～3．0单晶圆铜线TUl、TU2硬(Y)O．070～12．0注：软态(R)为铜线的低温退火状态。 www.bzfxw.com标准分享网www.bzfxw.com免费下载GB／T26044—20104．1．2标记示例标记示例按牌号、状态、直径和标准号的顺序表示，标记示例如下示例1；牌号为Tul，铸态，直径为8．omm的单晶圆铜线坯标记为：单晶圆铜线坯TUlZ≠8．O26044—2010示例2：牌号为Tu2，硬态，直径为o．12mm的单晶圆铜线标记为：单晶圆铜线Tu2Y$o．1226044—20lo4．2化学成分4．2．1单晶圆铜线及其线坯化学成分应符合表2和表3的规定。表2Tul牌号的化学成分元素组杂质元素含量／％，不大于杂质元素组总含量／％，不大于Se0．000200．000301Te000020O．0003Bl0．OOO20CrMnSb0．00042000l5CdAs00005P3PbO0005O000j4S00015000I5SnNlFe0．001O5O002O甄ZnCo6Ag000250．0025杂质元素总含量O．0065注1：Tul牌号的主成分为cu，其含量为100％减去表中杂质元素的实测值之和。注2：Tul牌号的氧含量应不大于O．o。1o％。表3Tu2牌号的化学成分Cu+Ag杂质元素含量／％，不大于不小于AsSbB1FePbSnN1ZnSP99．95000l5O．OOl5O．OOO60．00250．00200010．002O．0025O．001注：Tu2牌号的氧含量应不大于o．001％。4．2．2需方对单晶铜的化学成分有特殊要求时，可由供需双方商定。4．3尺寸及其允许偏差4．3．1单晶圆铜线坯的直径及其允许偏差应符合表4的规定。2 www.bzfxw.comGB／T26044—2010表4单晶圆铜线坯的直径及其允许偏差单位为毫米公称直径允许偏差>3．0～8．0±O．35>8．0～120±050>12．O～22．0土O．75>22．0～30．O士1．004．3．2单晶圆铜线的直径及其允许偏差应符合表5的规定。表5单晶圆铜线的直径及其允许偏差单位为毫米公称直径允许偏差0070～0．125±O．003>0125～0．400土O004>O40～3．。o±1O％d>3．。o～8．00±O．035>8．00～12．0。±0050注：d代表公称直径。4．4力学性能4．4．1单晶圆铜线坯的力学性能应符合表6的规定。表6单晶圆铜线坯的力学性能直径／伸长率／牌号状态mm％⋯1lUl≥55——————一～__铸(z)>3．O～30．0TU2≥504．4．2单晶圆铜线的力学性能应符合表7的规定。表7单晶圆铜线的力学性能伸长率／抗拉强度R。／伸长率／“(N／mm2)％公称直径／软(R)硬Y)不小于0．070～O．125124121．O>O．125～O．200154111．O>O200～0650174071．O>0．650～1．000254031．0>1．00～1．45253981>1．45～1．85253931．1>1．85～2．30253891．1>1．85～2．75253831．2>2．75～3．00253751．3>3．00～5．003601．8 www.bzfxw.com标准分享网www.bzfxw.com免费下载GB／T26044—2010表7(续)伸长率／抗拉强度R。／伸长率／％(N／mm2)％公称直径／软(R)硬Y)不小于>5．OO～7．003402．O>7．00～8．003302．4>8．OO～10．OO3102．8>10．。0～12．。o2803．54．5扭转性能单晶圆铜线坯应进行扭转试验，扭转次数应符合表8的规定，扭转断裂后表面不应出现皱边，断口不应有夹杂缺陷。表8单晶圆铜线坯饷扭转性能公称直径／牌号状态扭转次数>3．O～5．O≥20>50～80≥30TUl铸(z)>80～12．0≥35TU2>12．0～22、O≥40>22．O～30．0≥454．6电性能单晶圆铜线及其线坯的电阻率应符合表9的规定。表9单晶圆铜线及其线坯的电阻率体积电阻率(20℃)／名称牌号状态(n·mm2／m)，不大于公称直径<2o。mm公称直径≥2。。mmTUlZO．017000单晶圆铜线坯TU2Z0017170R0．0171000．017100TUlY0．0178000017700单晶圆铜线RO017170O．017170TU2YO．0178900．0177604．7晶粒数单晶圆铜线坯任意横断面的宏观组织中所含晶粒个数应符合表10的规定。表10单晶圆铜线坯晶粒数量等级任意横断面的宏观组织晶粒数牌号状态级别晶粒个数A级1～3TUl、TU2ZB级4～6C级7～104 www.bzfxw.comGB／T26044—20104．8表面质量4．8．1单晶圆铜线坯应圆整，尺寸均匀，无红色、黑色氧化现象。4．8．2单晶圆铜线坯表面不允许有三角口或其他任何形状的裂纹、毛刺等对后序加工或使用有害的缺陷。4．8．3单晶圆铜线表面应光洁，不得有影响使用的任何缺陷。4．9交货重量4．9．1单晶圆铜线坯应成盘交货，每盘单晶圆铜线坯为一整根，中间不应有二次引锭和焊接现象。单晶圆铜线应成盘或成圈交货，不允许焊接或扭接。单晶圆铜线坯重量应符合表11的规定。表¨单晶圆铜线坯成品重量翟3O～4．00>4．OO～6．00>6．OO～8．00>8．00～16．00>1600～3000I盘重／kg，不小于5101530504．9．2供需双方协商，单晶圆铜线坯或线可以任何重量交货。5试验方法5．1化学成分分析方法单晶圆铜线及其线坯的化学成分分析方法按GB／T5121的规定进行。5．2尺寸及其允许偏差测量方法单晶圆铜线及其线坯的尺寸及其允许偏差测量方法按GB／T4909．2的规定进行。5．3力学性能试验方法单晶圆铜线及其线坯的室温拉伸试验方法按GB／T4909．3的规定进行。5．4扭转性能试验方法5．4．1单晶圆铜线坯的扭转试验方法按GB／T4909．4的规定进行。5．4．2试样应从经过4．8．1和4．8．2检查合格的单晶圆铜线坯上取样。原始标距长度为300mm，扭转速度应不超过30r／min；绕试样轴线方向单向扭转，直至扭断。5．5电性能试验方法5．5．1单晶圆铜线及其线坯的电阻率测试方法按GB／T3048．2的规定进行。5．5．2电阻率试验可直接在单晶圆铜线及其线坯上取样进行。5．6晶粒数检验方法单晶铜线坯的晶粒数检验方法按YS／T448规定的进行，晶粒数按整个横截面内的晶粒计数。晶粒过小分辨不清时，可采用10倍及以上放大镜下进行观察。5．7表面质量检验方法单晶圆铜线及其线坯的表面质量用目视检查。6检验规则6．1检查和验收6．1．1单晶圆铜线及其线坯应由供方质量监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准及合同(或订货单)的规定，并填写质量证明书。6．1．2需方可对收到的产品按本标准的规定进行检验，如检验结果与本标准及合同(或订货单)的规定不符时，应在收到产品之日起1个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样由供需双方共同进行。6．2组批单晶圆铜线及其线坯应成批提交验收，每批应由同一牌号、状态和规格的铜线坯或铜线组成。铜线5 www.bzfxw.com标准分享网www.bzfxw.com免费下载GB／T26044—2010坯的批重不得超过1000kg，铜线的批重不得超过500kg。6．3检验项目每批单晶圆铜线坯均应进行化学成分、尺寸及其允许偏差、力学性能、扭转性能、电性能、晶粒数及表面质量的检验；每批单晶圆铜线均应进行尺寸及其允许偏差、力学性能、电性能及表面质量的检查。6．4取样单晶圆铜线及其线坯取样位置和取样数量应符合表12的规定。表12取样位置和取样数量检验项目取样方法和取样数量要求的章条号试验方法的章条号化学成分每批取二个样425．1尺寸及其允许偏差逐卷435．2线坯每卷取二个样，线每卷取一力学性能45．3个样或每批取3％的样扭转性能每批取二个样4．55．4线坯每卷取一个样．线每卷取一电性能4．65．5个样或每批取3％的样晶粒数每卷取一个样4．756表面质量逐卷4．85．76．5检验结果的判定6．5．1产品化学成分不合格时，判该批产品不合格。6．5．2尺寸偏差、表面质量不合格时，判该卷产品不合格。6．5．3当力学性能、扭转性能、电性能、晶粒数检验结果有不合格时，应从该批产品(包括原检验不合格的那卷产品)中，另取双倍数量的试样就不合格项目进行重复试验。重复试验结果全部合格，则判该批产品合格。若重复试验结果仍有试样不合格，则判该批不合格，或逐卷检验，合格者交货。7标志、包装、运输、贮存及质量证明书7．1标志在每卷或每盘检验合格的产品上应附有以下内容的标签：a)生产厂名称、商标；b)产品名称；c)产品牌号、状态、规格；d)净重；e)批号；f)出厂日期；g)质检部门的检印。7．2包装7．2．1单晶圆铜线坯应成卷包装，捆扎良好。7．2．2单晶圆铜线应卷绕整齐，最后一层应与线盘侧板边缘保持适当的距离。7．2．3包装应有防潮、防污染及防机械损伤措施。7．2．4供需双方可协商其他包装方法。7．3运输及贮存在存放、搬运和运输过程中，应注意保护产品免受机械损伤，防止受潮及受到腐蚀物的侵蚀。6 www.bzfxw.com7．4质量证明书每批产品应附有质量证明书，注明：a)生产厂名称；b)产品名称；c)产品牌号、状态、规格；d)批号；e)重量或件数；f)各项分析检验结果和质检部门检印；g)本标准编号；h)出厂日期(或包装日期)。8合同(或订货单)内容本标准所列材料的合同(或订货单)内应包括下列内容a)产品名称；b)产品牌号、状态、规格；c)重量和件数；d)本标准编号；e)其他。GB／T26044—2010'