HGT4509-2013工业高纯氢氟酸.pdf 12页

'ICS71．060．30G11备案号：41827—2013HG中华人民共和国化工行业标准HG／T4509—2013工业高纯氢氟酸Highpurityhydrofluoricacidforindustrialuse2013—10—17发布2014-03—01实施中华人民共和国工业和信息化部发布 前言HG／T4509—2013本标准按照GB／T1．12009给出的规则起草。本标准的附录A为资料性附录。本标准由中国石油和化学工业联合会提出。本标准由全国化学标准化技术委员会无机化工分会(sAC／Tc63／scl)归口。本标准起草单位：浙江凯恒电子材料有限公司、福建省邵武市永飞化工有限公司、鹰鹏集团／宣城亨泰化工科技有限公司、浙江蓝苏氟化有限公司、贵州省产品质量监督检验院、巨化集团技术中心、山东兴氟新材料有限公司、上海哈勃化学技术有限公司、多氟多化工股份有限公司、中海油天津化工研究设计院、国家无机盐产品质量监督检验中心。本标准主要起草人：田志扬、赵晓亚、杜宏军、林益兴、施卫寅、钟宏波、周晓红、周鹏鹏、孙宏华、刘海霞、郭风鑫。 工业高纯氢氟酸HG／T45∞一20131范围本标准规定了工业高纯氢氟酸的分级，要求，试验方法，检验规则，标志、标签，包装、运输和贮存及安全。本标准适用于工业高纯氢氟酸。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻，以及作为生产其他高纯氟化物的原料等。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB190危险货物包装标志GB／T191--2008包装储运图示标志GB／T6678化工产品采样总则GB／T6680液体化工产品采样通则GB／T66822008分析实验室用水规格和试验方法GB／T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定HG／T3696．1无机化工产品化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备第1部分：标准滴定溶液的制备HG／T3696．2无机化工产品化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备第2部分：杂质标准溶液的制备HG／T3696．3无机化工产品化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备第3部分：制剂及制品的制备3分子式和相对分子质量分子式；HF相对分子质量：20．01(按2011年国际相对原子质量)4分级工业高纯氢氟酸按用途分为四个等级。EL级：主要用于太阳能光伏电池及液晶显示器件的制造，以及作为生产其他高纯氟化物的原料UP级：主要用于线宽为0．8pm～1．2pm集成电路的清洗与蚀刻；uPs级：主要用于线宽为0．2p-m～0．6pm集成电路的清洗与蚀刻；UP—SS级：主要用于线宽为0．09,um～0，2pm集成电路的清洗与蚀刻。5要求5．1外观：无色透明液体。5．2工业高纯氢氟酸按本标准规定的试验方法检测应符合表1技术要求。 HG／T45∞一2013表1技术要求指标项目EI，级UP级UPS级UP—SS级总酸度(以HF计)w／％49．0土0．549．0士0549．0土0．5氟硅酸(HzSiR)w／(mg／kg)≤5030氯化物(以cl计)”／(mg／kg)≤5O．2O05硝酸盐(以NOs计)"／(mg／kg)≤30．10．05磷酸盐(以P03计)w／(mg／kg)≤10．10．05硫酸盐(以so：计)“∥(mg／kg)≤50．20．05铝(10s‘······。’⋯_⋯·····⋯--⋯············’(4)Ⅲ4。——‘。‘’’’‘。’⋯4⋯。‘‘‘‘‘‘。。‘。。。。L1／式中：以一．从工作曲线上查得的试验溶液中各被测阳离子浓度的数值·单位为微克每升(pg／L)；m一试料质量的数值，单位为克(g)。取平行测定结果的算术平均值为测定结果，两次平行测定结果的绝对差值与算术平均值之比uP—ss级不大于30％，其他级别不大于10％。6．8颗粒的测定6．8．1方法提要试样溶液中的悬浮微粒(又称为尘埃粒子)通过液体粒子计数仪的光敏感区时，会产生光的散射现象，其散射光的强度与微粒粒径成一定比例关系，经分析、计算、比较后显示不同粒径和粒子的数量。6．8．2试剂水：电导率(25℃)不大于0．0055mS／m的去离子水。6．8．3仪器、设备液体粒子计数仪：具有耐氢氟酸腐蚀的分析系统。6．8．4测定量取一定量试样，静置30rain以上，按照颗粒计数仪的操作手册打开电源，测试时先用水清洗管路，再用试样清洗，然后抽取一定量的试样进入仪器分析，测出颗粒粒径和相对应的颗粒数。7检验规则7．1本标准要求中规定的所有指标项目为出厂检验项目，应逐批检验。7．2用相同材料，基本相同的生产条件，连续生产或同一班组生产的同一级别的工业高纯氢氟酸为一7 批。槽罐灌装时，每槽罐为一批。每批产品不超过60t。7．3按照GB／T6678和GB／T6680的规定进行采样。在洁净环境中使用专用的采样器进行采样，将采样器插至包装容器的底部提取样品，所取样品不应少于500mL，混合均匀，装入两个清洁、干燥的塑料瓶中，密封保存。瓶上粘贴标签，注明：生产厂名，产品名称、批号、等级，采样日期和采样者姓名。一瓶用于检验，另一瓶保存备查，保留时间由生产厂根据实际需要确定。7．4使用单位按照本标准的规定对收到的工业高纯氢氟酸进行验收。验收应在货到之日算起的一个月内进行。7．5检验结果中如有指标不符合本标准要求时，应重新自包装物中采取两倍量样品进行复验，复验结果即使只有一项指标不符合本标准要求时，则整批产品为不合格。7．6采用GB／T8170规定的修约值比较法判定检验结果是否符合标准。8标志、标签8．1工业高纯氢氟酸包装物上应有牢固清晰的标志，内容包括：生产厂名、厂址，产品名称、等级、净含量、批号或生产日期，本标准编号以及GB190规定的“毒性物质”标志、“腐蚀性物质”标志和GB／T1912008规定的“向上”标志、“怕晒”标志。8．2每批出厂的工业高纯氢氟酸都应附有质量证明书，内容包括：生产厂名、厂址，产品名称、等级、净含量、批号或生产日期，产品质量符合本标准的证明和本标准编号。9包装、运输和贮存9．1工业高纯氢氟酸采用塑料容器包装。塑料容器的壁厚应大于3ram，吹塑厚薄均匀，并应具有符合规定的防老化和抗冻性能及抗压、抗刺、抗磨功能。塑料容器不应以回收塑料作为制造原料。容器口应为小开El，螺纹口、盖、垫圈等封口件配套完好，容器盖应牢固旋紧、密封不漏。每件净含量为200kg，或根据用户要求协商确定净含量。9．2工业高纯氢氟酸在运输过程中应有遮盖物，防止日晒、雨淋。运输过程中要确保容器不泄漏、不倒塌、不坠落、不损坏。严禁与碱类、活性金属粉末、玻璃制品等混装混运。运输时运输车辆应配备泄漏应急处理设备。9．3工业高纯氢氟酸应贮存于通风良好的库房里，防止日晒、雨淋。应与碱类、活性金属粉末、玻璃制品分开存放，切忌混贮。贮存区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料。10安全10．1氢氟酸是腐蚀性溶液，其蒸气有刺激性并有毒，对皮肤和眼睛有强烈腐蚀作用，能产生严重的灼伤。工作场所应配备安全淋浴和洗跟设备。10．2取用时必须在通风良好的场所或通风橱内进行。操作人员应穿藏好大小合适的防护用具。10．3氢氟酸不应直接接触皮肤，如果接触或怀疑接触了氢氟酸时．需用大量水冲洗并立即治疗。8 附录A(资料性附录)推荐的离子色谱仪操作条件推荐的离子色谱仪操作条件见表A．1。表A．1推荐的离子色谱仪操作条件HG／T4509--2013项目操作条件抑制器电流／mA87外加泵流速／(mL／min)O．55进样体积／”L1000柱温箱温度／"C30淋洗液流速／(mL／min)1．0流动相30mmol／L氢氧化钾溶液(用优级纯试剂配制)4．5mmol／L碳酸钠溶液和1．4mmol／L碳酸氢钠淋洗液溶液等体积混合(用优级纯试剂配制)9 BZ002103208lIIIIMIIIIIIIIIIIIIIIIII中华人民共和国化工行业标准工业高纯氢氟酸HG／T15092013出版发行：化学工业出版社(北京巾东城K肯年湖南街13号邮政编码100011)化学工业出版社印刷厂880minx1230mm1／16印张X字数21千字2014年2月北京第1版第1次印刷书号：155025·1618购书咨询：0lO-64518888售后服务：010—64518899网址：http：／／www．cip．corn．c／i凡购买本书．如有缺损质量问题，本杜销售中心负责调换．定价：12．00元版权所有违者必究n—oNI西口岍甘■＼0昌'